中國粉體網訊  2025年8月6日，在太原市科技局指導下，太原技術轉移促進中心、國投晉創(chuàng)谷發(fā)展運營有限公司、中北高新區(qū)技術產業(yè)開發(fā)區(qū)改革創(chuàng)新部、太原市尖草坪區(qū)科學技術局聯(lián)合舉辦企業(yè)科技成果路演活動。碳方程半導體設備制造（山西）有限公司進行了科技成果路演。

圖源：太原科技

碳方程半導體此次路演的核心是“超大尺寸金剛石半導體材料生長設備”。該設備堪稱半導體材料生長的“精密搖籃”，通過一系列技術創(chuàng)新攻克了行業(yè)關鍵難題。此項設備采用雙微波、四微波的矩陣平行輸入方式，微波等離子體呈“矩陣均勻分布”，通過對稱微波源輸入，多條并行石英管饋入，形成“平行矩陣”均勻饋入；根據(jù)電磁場場強值，決定饋入管間距，通過“強-（弱+弱）-強”邏輯實現(xiàn)電磁場“堆疊”；解決了反應區(qū)電磁場的均勻分布、等離子密度一致性，實現(xiàn)沉積臺溫場一致。

圖源：太原科技

碳方程半導體設備制造（山西）有限公司，主要從事第三、四代半導體材料專用設備的研發(fā)與制造，其核心業(yè)務為金剛石半導體材料MPCVD長晶設備的研發(fā)與生產，在此基礎上縱向重點拓展金剛石大尺寸材料的加工工藝、相關核心裝備的配套，旨在實現(xiàn)核心設備的自主化與產業(yè)化。

圖源：碳方程半導體官網

此次路演，碳方程半導體提出，企業(yè)計劃擬通過金融貸款或股權融資1000萬。資金用于研發(fā)投入、擴產、市場拓展和運營。依托山西在裝備制造領域的產業(yè)基礎與“晉創(chuàng)谷”的創(chuàng)新生態(tài)，碳方程半導體已構建起“三地協(xié)同”的研發(fā)與生產體系。其中，山西太原裝備生產基地承擔核心設備的制造與組裝任務，憑借本地完善的工業(yè)配套與技術工人儲備，確保設備生產的精度與效率；山西長治工藝研究重點實驗室則聚焦金剛石材料生長工藝優(yōu)化，為設備性能迭代提供工藝驗證支持；深圳研發(fā)實驗室則專注前沿技術研發(fā)，保持核心技術的領先性。

這種“研發(fā)在前沿、制造在山西、工藝在本地優(yōu)化”的布局，不僅讓企業(yè)扎根山西科創(chuàng)土壤，更充分整合了多地創(chuàng)新資源，為技術快速迭代與產業(yè)化落地奠定了堅實基礎。目前，企業(yè)已在金剛石半導體設備領域積累了多項核心技術，成為山西半導體裝備產業(yè)的重要力量。未來，企業(yè)致力成為國產金剛石半導體設備領域的頭部企業(yè)，助力中國半導體產業(yè)鏈自主化。

參考來源：太原科技、山西科技報新媒體、碳方程

（中國粉體網編輯整理/石語）

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