中國粉體網(wǎng)訊 石英材料是半導(dǎo)體制造各工藝環(huán)節(jié)中的關(guān)鍵耗材。用于半導(dǎo)體的石英材料及制品具有高純度、無污染、耐高溫等優(yōu)良特性,其應(yīng)用貫穿半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的各個環(huán)節(jié),其純度、性能直接影響芯片制程精度與良品率。
總體來看,石英制品可用于擴散、氧化、沉積、光刻、蝕刻、清洗環(huán)節(jié)等關(guān)鍵過程。
具體來看,單晶生長需要用到石英坩堝和石英器件。晶圓加工環(huán)節(jié),刻蝕、擴散、氧化、退火等步驟中需要用到大量的輔材石英制品,如石英片、石英環(huán)、石英舟等高純度石英制品。石英玻璃貫穿半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
石英材料和制品行業(yè)位于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的中上游環(huán)節(jié),半導(dǎo)體制程中,擴散、氧化、沉積、蝕刻工藝用到石英法蘭、石英擴散管、石英鐘罩等石英制品,石英錠、石英管等是上述石英制品的基材;合成石英玻璃主要用于半導(dǎo)體高端制程中石英玻璃材料配套領(lǐng)域和光掩膜基板業(yè)務(wù)。
長飛石英技術(shù)(武漢)有限公司,成立于2022年12月,是長飛光纖光纜股份有限公司的子公司,專注于高端石英材料產(chǎn)品研發(fā)、生產(chǎn)、檢測、銷售與服務(wù)。長飛石英公司自主掌握多種化學(xué)氣相沉積、國際主流的合成石英制備工藝及半導(dǎo)體用電熔等天然石英熔制工藝,在產(chǎn)品的物理化學(xué)性能、光學(xué)性能、幾何精度與產(chǎn)品一致性等方面,高純度、無氣泡、高光學(xué)均勻性等特性均具備優(yōu)異的表現(xiàn)水平,可充分滿足光學(xué)、光通信和半導(dǎo)體行業(yè)對高端石英材料在性能與質(zhì)量方面的嚴(yán)苛需求。
2025年11月20-21日,由中國粉體網(wǎng)主辦的“2025第九屆全國石英大會暨展覽會”將在江蘇徐州召開,長飛石英技術(shù)(武漢)有限公司的銷售副總監(jiān)肖暢將做《石英材料在半導(dǎo)體制造各工藝環(huán)節(jié)的應(yīng)用與趨勢》的報告,屆時,他將基于多年深耕半導(dǎo)體石英材料市場的經(jīng)驗,深度解讀石英材料在半導(dǎo)體制造各工藝環(huán)節(jié)的應(yīng)用與趨勢。

肖暢先生多年從事合成石英與天然石英在半導(dǎo)體與光學(xué)市場的市場推廣與銷售工作;2004年進入光通信行業(yè),先后從事國內(nèi)外光通信網(wǎng)絡(luò)的市場與銷售工作;2019年加入長飛集團,重點從事各類石英材料在各個應(yīng)用領(lǐng)域的市場開發(fā)與銷售工作;當(dāng)前重點深耕石英材料在半導(dǎo)體光學(xué)、掩模基板、半導(dǎo)體石英部件、激光、精密光學(xué)、航空航天等多個市場;熟悉各類應(yīng)用對于石英材料的不同技術(shù)需求與市場趨勢。
參考來源:
長飛石英.各類中高端石英材料在半導(dǎo)體制程各工藝環(huán)節(jié)的應(yīng)用與提升
中國粉體網(wǎng).小耗材,大作用!半導(dǎo)體工業(yè)離不開這些石英制品
(中國粉體網(wǎng)編輯整理/九思)
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