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卡博萊特蓋羅其中一款明星產(chǎn)品，可控惰性氣氛烘箱HTMA系列已經(jīng)在光學(xué)行業(yè)，半導(dǎo)體芯片制造行業(yè)，金屬熱處理行業(yè)得到廣泛應(yīng)用。在工藝開(kāi)始前，用惰性氣體置換爐膛內(nèi)的空氣，并在爐膛內(nèi)保持微正壓，避免樣品在熱處理過(guò)程中氧化。HTMA系列烘箱，最高溫度范圍從400°C -700°C，可滿足不同的熱處理需求。

還有一種烘箱，爐膛也可以做到無(wú)氧環(huán)境，那就是真空烘箱，大家對(duì)這個(gè)名稱可能并不陌生。但是真空烘箱與卡博萊特蓋羅可控惰性氣氛烘箱有著很大的區(qū)別，無(wú)論是設(shè)備結(jié)構(gòu)還是應(yīng)用領(lǐng)域。我們也碰到了原本應(yīng)該使用惰性氣氛烘箱的應(yīng)用，錯(cuò)誤地使用了真空烘箱，使得工藝失敗。下面我們就來(lái)說(shuō)說(shuō)可控惰性氣氛工業(yè)化箱與真空烘箱的區(qū)別，以及各自的應(yīng)用領(lǐng)域。

獲得無(wú)氧環(huán)境的方式：

• 真空烘箱：通過(guò)真空泵將烘箱腔室內(nèi)的空氣，包括氧氣和水蒸氣等抽出，使其達(dá)到低于大氣壓的狀態(tài)，通常為粗真空范圍，10E-1mbar。

• 可控惰性氣氛烘箱：通過(guò)大流量持續(xù)向氣密的爐膛內(nèi)通入惰性氣體，迅速置換出爐膛內(nèi)的空氣。工藝中持續(xù)通入惰性氣體，壓力接近或略高于大氣壓。

→ 總結(jié)：受限于烘箱的結(jié)構(gòu)，比如真空爐膛的材質(zhì)和材料壁厚；爐門(mén)的密封方式多常用非水冷硅膠密封條。真空烘箱，不可能選配一般選用隔膜泵或小型機(jī)械泵。泄漏率比專(zhuān)業(yè)真空設(shè)備高很多，只能達(dá)到粗真空范圍，對(duì)于無(wú)氧或需要防氧化的熱處理工藝，這個(gè)真空度及泄漏率是達(dá)不到熱處理要求的。相比較卡博萊特蓋羅HTMA氣氛烘箱，在工藝開(kāi)始前用大流量惰性氣氛沖刷快速置換空氣，并在整個(gè)工藝過(guò)程中保持穩(wěn)定的氣流。爐膛內(nèi)始終保持微正壓，防止空氣倒流，所以氧含量遠(yuǎn)低于50ppm。

學(xué)校社團(tuán)可分為綜合社團(tuán)和專(zhuān)業(yè)社團(tuán)。綜合性社團(tuán)是素質(zhì)教育的第二課堂。

加熱方式：

• 真空烘箱：真空環(huán)境中，熱傳導(dǎo)和對(duì)流效率降低，主要依賴熱輻射傳導(dǎo)熱量。這可能導(dǎo)致加熱和冷卻速度相對(duì)較慢，腔體內(nèi)溫度均勻性可能稍差，需要更精心的裝載設(shè)計(jì)。

• 可控惰性氣氛烘箱：由于在接近常壓下運(yùn)行，氣體對(duì)流良好，熱傳熱效率高。溫度均勻性通常更好。

→ 總結(jié)：真空環(huán)境下由于沒(méi)有介質(zhì)，熱傳導(dǎo)方式只能是輻射。而真空烘箱的溫度普遍不超過(guò)300°C，這時(shí)候的熱輻射能量很低，升溫慢，溫度均勻性也相對(duì)較差。這不利于光亮退火工藝，涂層烘烤等，會(huì)導(dǎo)致樣品的熱處理結(jié)果一致性差。而惰性氣氛烘箱內(nèi)部充滿了氣氛，再加上設(shè)備本身有循環(huán)風(fēng)機(jī)，熱對(duì)流的加熱方式使得爐膛內(nèi)溫度均勻性好，熱處理結(jié)果一致性好，尤其是退火工藝。

操作步驟：

• 真空烘箱：

每次裝載后需要抽真空。

開(kāi)門(mén)前需要充入氣體，恢復(fù)到常壓。

需要維護(hù)真空泵。

對(duì)爐膛密封性要求高，避免真空泄漏。

• 可控惰性氣氛烘箱：

每次裝載后需要用惰性氣體沖刷爐膛，但也可在升溫過(guò)程中進(jìn)行。

工藝過(guò)程中，需要持續(xù)通入惰性氣體。

開(kāi)門(mén)相對(duì)簡(jiǎn)單，關(guān)閉進(jìn)氣閥即可?？ú┤R特蓋羅HTMA系列烘箱，打開(kāi)爐門(mén)自動(dòng)切斷進(jìn)氣閥門(mén)。

爐門(mén)處也需要密封，廢氣出口設(shè)有單向閥門(mén)，防止空氣倒灌。

→ 總結(jié)：卡博萊特蓋羅可控惰性氣氛烘箱不僅爐膛做到了密封焊接，而且爐門(mén)處有雙重密封措施。

應(yīng)用領(lǐng)域：

• 真空烘箱：藥品、生物制品、精細(xì)化工品、某些聚合物在低溫下快速干燥防止分解。以及去除材料內(nèi)部吸附的微量水分。

• 可控惰性氣氛烘箱：金屬樣品光亮退火、催化劑前驅(qū)體熱處理、半導(dǎo)體晶圓退火、涂層，鍍膜烘干等。

→ 總結(jié)：兩種烘箱有著各自的適用領(lǐng)域。真空烘箱偏向于生物制藥、化工，除氣或去除水分等應(yīng)用?？煽囟栊詺夥蘸嫦涞靡嬗跉怏w流對(duì)加熱，溫度均勻性好，在半導(dǎo)體、光學(xué)和金屬熱處理領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。

Carbolite·Gero

卡博萊特蓋羅HTMA系列可控惰性氣氛烘箱，標(biāo)配氣體管路和電磁閥，可謂即插即用。還可選配諸如：爐門(mén)鎖，防止熱處理過(guò)程中鎖定爐門(mén)防止誤開(kāi)；可編程自動(dòng)氣體流量切換；實(shí)時(shí)氧含量監(jiān)測(cè)等功能，滿足個(gè)性化需求。具體應(yīng)用和配置，可向我們咨詢。

弗爾德（上海）儀器設(shè)備有限公司隸屬全球技術(shù)領(lǐng)先者-弗爾德集團(tuán)旗下，提供最先進(jìn)的樣品處理與分析設(shè)備及解決方案。旗下六大品牌：德國(guó)Retsch（萊馳）粉碎、研磨、篩分設(shè)備，德國(guó)Microtrac MRB（麥奇克萊馳）多功能粒度粒形分析儀，Carbolite?Gero（卡博萊特?蓋羅）烘箱、高溫烘箱、箱式馬弗爐、灰化爐、管式馬弗爐、氣氛馬弗爐、真空馬弗爐、高溫馬弗爐及工業(yè)定制爐，Eltra（埃爾特）碳/氫/氧/氮/硫元素分析儀，QATM（奧德鎂）切割機(jī)、鑲嵌機(jī)、磨拋機(jī)、硬度計(jì)，Erweka (艾維卡) 藥品藥劑測(cè)試設(shè)備。

服務(wù)于全球無(wú)數(shù)實(shí)驗(yàn)室、制造商和科研機(jī)構(gòu)，是客戶最忠實(shí)的合作伙伴。弗爾德致力于和客戶共同進(jìn)步成長(zhǎng)，為客戶提供有效可靠的產(chǎn)品、流程和工藝方法，使其能夠更安全、更高效、更持久地發(fā)展業(yè)務(wù)。我們希望通過(guò)不懈努力，不斷推動(dòng)技術(shù)進(jìn)步，使世界變得更加健康和安全。