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國儀量子技術(shù)（合肥）股份有限公司
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SEM4000Pro是一款分析型熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡，配備了高亮度、長壽命的肖特基場發(fā)射電子槍。三級磁透鏡設(shè)計，束流**可達200 nA，在EDS、EBSD、WDS等應(yīng)用上具有明顯優(yōu)勢。標配低真空模式，以及高性能的低真空二次電子探測器和插入式背散射電子探測器，可觀察導(dǎo)電性弱或不導(dǎo)電樣品。標配的光學導(dǎo)航模式，以及直觀的操作界面，讓您的分析工作倍感輕松。
01配備高亮度、長壽命的肖特基熱場發(fā)射電子槍
02分辨率高，30 kV 下優(yōu)于 0.9 nm 的極限分辨率
03三級磁透鏡設(shè)計，束流可調(diào)范圍大，**支持 200 nA 的分析束流
04無漏磁物鏡設(shè)計，可直接觀察磁性樣品
05標配低真空模式，以及高性能的低真空二次電子探測器和插入式背散射電子探測器
06標配的光學導(dǎo)航模式，中文操作軟件，讓分析工作更輕松
應(yīng)用案例
產(chǎn)品參數(shù)
關(guān)鍵參數(shù) 高真空分辨率 0.9 nm @ 30 kV，SE 低真空分辨率 2.5 nm @ 30 kV，BSE，30 Pa 1.5 nm @ 30 kV, SE, 30 Pa 加速電壓 200 V ~ 30 kV 放大倍率 1 ~ 1,000,000 x 電子槍類型 肖特基熱場發(fā)射電子槍 樣品室 真空系統(tǒng) 全自動控制 低真空模式 **180 Pa 攝像頭 雙攝像頭 （光學導(dǎo)航+樣品倉內(nèi)監(jiān)控） 行程 X=110 mm，Y=110 mm，Z=65 mm T: -10°~+70°，R: 360° 探測器和擴展 標配 旁側(cè)二次電子探測器（ETD） 低真空二次電子探測器（LVD） 插入式背散射電子探測器（BSED） 選配 能譜儀（EDS） 背散射衍射（EBSD） 插入式掃描透射探測器（STEM） 樣品交換倉 軌跡球&旋鈕控制板 軟件 語言 中文 操作系統(tǒng) Windows 導(dǎo)航 光學導(dǎo)航、手勢快捷導(dǎo)航 自動功能 自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散
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