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簡介： 該設備為我司研發(fā)用于石墨烯薄膜連續(xù)生長或者線性材料的連續(xù)的專用設備，此款設備是快速冷卻卷對卷等離子體增強CVD連續(xù)生長爐，它由高溫生長腔體，三路質量流量計氣路系統(tǒng)，真空機組，RF射頻電源模塊，石英管，冷卻裝置，收放卷的密封裝置，自動化控制系統(tǒng)組成，兩端分別安裝有進料進氣真空腔室和出料排氣真空腔室，收放密封裝置內(nèi)分別對應安裝有放卷滾輪和收卷滾輪，所輸出料排氣腔體與爐體之間安裝有冷卻裝置。相對于現(xiàn)有技術具有快速冷卻、連續(xù)生長的優(yōu)點，可以進行大面積、高質量石墨烯