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8月8日-10日，第十七屆國際真空科學與工程應(yīng)用學術(shù)會議（VSEA-17）在沈陽東北大學召開。本次學術(shù)會議由東北大學、中國真空學會、真空技術(shù)與物理全國重點實驗室聯(lián)合主辦，展示國內(nèi)外相關(guān)領(lǐng)域的最新科研成果和前沿技術(shù)。中科科儀作為大會支持單位，攜多項真空技術(shù)領(lǐng)域創(chuàng)新成果亮相現(xiàn)場，圍繞“真空科學與技術(shù)、真空與表面工程、真空與航天工程、真空半導體裝備與技術(shù)”等議題，與業(yè)界同仁共話行業(yè)發(fā)展與應(yīng)用前景。

本次會議是集前沿學術(shù)交流、熱點技術(shù)專題研討和創(chuàng)新產(chǎn)品展示于一體的國際大型專業(yè)學術(shù)交流活動，真空及相關(guān)行業(yè)專家、學者、科研骨干、企業(yè)代表齊聚一堂，共謀更為廣闊的發(fā)展未來?；顒蝇F(xiàn)場，中科科儀實物展出DFF-63/80型單磁儀器分子泵、CXF-200/1401CVS型磁懸浮分子泵、ZQJ-3300型氦質(zhì)譜檢漏儀以及CCQ-40K型超高真空常閉插板閥、GID-40ZM型自動壓力調(diào)節(jié)蝶閥，吸引眾多與會領(lǐng)導、專家、行業(yè)同仁駐足參觀、交流洽談。其中單磁儀器分子泵備受關(guān)注，此產(chǎn)品采用永磁懸浮軸承技術(shù)、微油潤滑機械軸承技術(shù)和高速轉(zhuǎn)子弱剛性支承技術(shù)，轉(zhuǎn)速可達90000rpm，綜合性能指標達國際先進水平，可實現(xiàn)同類產(chǎn)品的國產(chǎn)化替代。

活動期間，中科科儀真空技術(shù)研發(fā)中心時劍文博士進行主題為《磁懸浮分子泵關(guān)鍵技術(shù)演進及其在半導體制造裝備中的應(yīng)用》的技術(shù)報告，針對分子泵概念及工作原理、磁懸浮分子泵關(guān)鍵技術(shù)以及在半導體制造裝備中的應(yīng)用現(xiàn)狀進行了詳細介紹。近年來，中科科儀持續(xù)聚焦半導體產(chǎn)業(yè)自主可控需求，助力解決集成電路制造領(lǐng)域“卡脖子”問題，面向半導體和工業(yè)兩個應(yīng)用方向，推出標準系列、高溫系列、分體系列等多款磁懸浮分子泵產(chǎn)品，廣泛應(yīng)用于刻蝕、離子注入、薄膜沉積等半導體前道工藝環(huán)節(jié)。

未來，中科科儀將繼續(xù)深耕高端科學儀器裝備及真空技術(shù)領(lǐng)域，強化關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)，發(fā)展新質(zhì)生產(chǎn)力，推進科技成果轉(zhuǎn)化和規(guī)模產(chǎn)業(yè)化，為半導體、航空航天、分析儀器、新能源、新材料等前沿科學研究和高端裝備制造領(lǐng)域提供更加優(yōu)質(zhì)的國產(chǎn)真空解決方案，攜手行業(yè)伙伴共同開拓真空行業(yè)發(fā)展新篇章。