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采用自主開發(fā)的全新一代智能全閉環(huán)控制系統(tǒng)，實現(xiàn)高精度的厚度、動態(tài)壓力等測量!采用高精度位移傳感器，測量**精度達到+0.01mm，*小分辨率0.5um;
利用智能氣動控制，移動速度、壓力可以調(diào)節(jié)設(shè)置;
測量可實現(xiàn)動態(tài)保壓功能，**壓力控制精度: 1.5kgf (0.3%FS)
采用超厚模架設(shè)計及大理石支撐板，確保測量過程及溫度變化不形變;
設(shè)備完整意義上的一體化，單輸入控制窗口，避免不同界面之間的復(fù)雜操作，控制簡單，6采用自主開發(fā)控制系統(tǒng)，避免傳統(tǒng)測量方法的超壓和誤差過大，**效率可達6ppm;
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