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超高溫硼化物沉積爐
超高溫硼化物沉積爐

參考價格

面議

型號

HCVD-101015-ZrC

品牌

頂立科技

產(chǎn)地

湖南

樣本

暫無
湖南頂立科技股份有限公司

金牌會員

|

第13年

|

生產(chǎn)商

工商已核實

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核心參數(shù)
  • 非金屬電熱元件:

    其他
  • 金屬電熱元件:

    其他
  • 燒結(jié)氣氛:

    其他
  • 溫控精度:

    ±5~±20
  • 最高溫度:

    2000
  • 額定溫度:

    2000
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超高溫硼化物沉積爐技術(shù)特征

采用先進(jìn)的控制技術(shù),能精密控制H2、C3H6的流量和壓力,爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定,壓力波動小;

全密閉沉積室,密封效果好,抗污染能力強(qiáng);

多通道工藝氣路,流場均勻,無沉積死角,沉積效果好;

多級高效尾氣處理系統(tǒng),能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點(diǎn)粘性產(chǎn)物,環(huán)境友好;

可選配新設(shè)計的防腐蝕真空機(jī)組,持續(xù)工作時間長,維修率低;

適于工藝氣氛:真空/H2/N2/Ar/C3H6/ZrCl4/HfCl4/BCl3/TaCl5/ZrB2/HfB2/TaB2

超高溫硼化物沉積爐產(chǎn)品規(guī)格

參數(shù)\型號HCVD-101015-ZrCHCVD-152023-ZrCVCVD-0608-ZrCVCVD-0812-ZrCVCVD-1120-ZrCVCVD-1218-ZrCVCVD-1520-ZrC
工作區(qū)尺寸 W×H×L(mm)1000×1000×15001500×2000×2300600×800800×12001100×20001200×18001500×2000
**溫度(℃)2000200020002000200020002000
溫度均勻性(℃)±10/±15±15/±20±5/±7.5±7.5/±10±10/±15±10/±15±15/±20
極限真空度(Pa)1-1001-1001-1001-1001-1001-1001-100
壓升率(Pa/h)0.670.670.670.670.670.670.67
加熱方式電阻電阻電阻電阻電阻電阻電阻

以上參數(shù)可根據(jù)工藝要求進(jìn)行調(diào)整,不作為驗收依據(jù),具體以技術(shù)方案和協(xié)議為準(zhǔn)。


超高溫硼化物沉積爐配置選擇

結(jié)構(gòu)形式:臥式-單開門/雙開門;立式-上出料/下出料

爐門鎖緊方式:手動/自動

爐殼材質(zhì):內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼

保溫材質(zhì):碳?xì)?石墨氈/碳纖維固化氈

加熱器、馬弗材質(zhì):石墨/CFC

熱電偶:C/S分度號

紅外儀:單比色/雙比色

真空泵:機(jī)械泵組/耐腐蝕泵組


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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價比

10分
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