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SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監(jiān)測儀
SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監(jiān)測儀

參考價格

50-60萬元

型號

SemiChem APM200

品牌

Entegris

產(chǎn)地

美國

樣本

暫無
上海奧法美嘉生物科技有限公司

鉆石會員

|

第19年

|

生產(chǎn)商

工商已核實

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核心參數(shù)
  • 靈敏度:

    ±0.2%相對誤差
  • 分辨率:

    顯示值的±0.2%
  • 重現(xiàn)性:

    99%
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SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監(jiān)測儀


SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監(jiān)測儀為工程師提供了準確性、可靠性和靈活性的過程監(jiān)控,可以提高效率、保證晶圓制造的一致性,以滿足更高的良率和容錯的要求。在競爭激烈的微電子工業(yè)中,如果不使用復(fù)雜的監(jiān)測和控制來確保晶圓制造的一致性,晶圓的制造成本將大大提高。


我們的SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監(jiān)測儀允許定量化學濃度。全在線化學監(jiān)測能夠?qū)崟r校正溶液成分,從而穩(wěn)定控制工藝條件、保持產(chǎn)品的一致性。


監(jiān)控工藝過程中溶液的組分信息能夠增加產(chǎn)品的產(chǎn)量??赡苡绊懏a(chǎn)品質(zhì)量的變化在檢測時會立即顯現(xiàn)出來,并在產(chǎn)品質(zhì)量受損之前迅速糾正。


產(chǎn)品選項  


? 多個樣本點

? 額外的5 mL數(shù)字滴定管

? 附加傳感器

? 安全聯(lián)鎖裝置

? 試劑低液位檢測


優(yōu)勢  


? 增加工具產(chǎn)量

? 降低化學品成本

? 實時過程監(jiān)控

? 降低批量損失

? 降低所有者成本


應(yīng)用    


? 銅化學機械拋光

? 鎢化學機械拋光

? 濕法蝕刻

? 清潔

? DSP+

? 氮化物蝕刻

? PAN蝕刻  

? 食人魚蝕刻

? HF


產(chǎn)品特點


? 4個4-20 mA 模擬輸出

? 8個可編程繼電器

? 以太網(wǎng)和 RS232 串口

? 彩色觸摸屏

? 集成試劑儲存

? 單采樣點

? 1個5mL數(shù)顯滴定管

? 多個傳感器輸入



規(guī)格


分析方法 電位法/標準加入法/光度法
精確度1±0.2%顯示值
誤差度10.2%相對誤差
測量時間少于5分鐘/分析(取決于應(yīng)用)
校準頻率自開始起2
樣品消耗量小于 5 mL/
樣品量0.05 5 mL(取決于應(yīng)用)
樣品溫度低于93℃(200℉)
耗水量少于1000mL/次
樣品入口/返回小于30 psi  
0.5升/分鐘
1/4外徑擴口接頭
1FPT 密封聯(lián)軸器
去離子水20-40 psi
2升/分鐘
1/4外徑擴口接頭
CDA 60-80 psi

1/4外徑快速接頭
過程排放3/4NPT 重力排放
機箱排水1/2NPT 重力排放
電源110 /220 VAC,50 /60 Hz,1 /0.5A 現(xiàn)場可切換
排水1 7 /8” OD @ 17 CFM
外形尺寸39.00H x 27.00W x 16.00D































1僅指“硬件”。應(yīng)用、化學和工藝條件等外部因素會影響系統(tǒng)準確度和精密度。

2這不包括 pH 傳感器的校準。有關(guān)詳細信息,請參閱安裝和操作手冊。Entegris 相信此處包含的數(shù)據(jù)是真實的,所表達的意見是合格專家對所進行測試的結(jié)果的看法,這些數(shù)據(jù)不應(yīng)被視為 Entegris  承擔法律責任的保證或陳述。提供的數(shù)據(jù)僅供考慮、調(diào)查和驗證。對這些數(shù)據(jù)和信息的任何使用都必須由用戶決定,以符合聯(lián)邦、州和當?shù)氐姆煞ㄒ?guī)。所有規(guī)格如有更改,恕不另行通知。


規(guī)模大小


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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價比

10分
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SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監(jiān)測儀信息由上海奧法美嘉生物科技有限公司為您提供,如您想了解更多關(guān)于SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監(jiān)測儀報價、型號、參數(shù)等信息,歡迎來電或留言咨詢。
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