參考價格
50-60萬元型號
SemiChem APM200品牌
Entegris產(chǎn)地
美國樣本
暫無靈敏度:
±0.2%相對誤差分辨率:
顯示值的±0.2%重現(xiàn)性:
99%看了SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監(jiān)測儀的用戶又看了
虛擬號將在 180 秒后失效
使用微信掃碼撥號
SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監(jiān)測儀
SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監(jiān)測儀為工程師提供了準確性、可靠性和靈活性的過程監(jiān)控,可以提高效率、保證晶圓制造的一致性,以滿足更高的良率和容錯的要求。在競爭激烈的微電子工業(yè)中,如果不使用復(fù)雜的監(jiān)測和控制來確保晶圓制造的一致性,晶圓的制造成本將大大提高。
我們的SemiChem 單槽壁掛式在線濃度監(jiān)測儀允許定量化學濃度。全在線化學監(jiān)測能夠?qū)崟r校正溶液成分,從而穩(wěn)定控制工藝條件、保持產(chǎn)品的一致性。
監(jiān)控工藝過程中溶液的組分信息能夠增加產(chǎn)品的產(chǎn)量??赡苡绊懏a(chǎn)品質(zhì)量的變化在檢測時會立即顯現(xiàn)出來,并在產(chǎn)品質(zhì)量受損之前迅速糾正。
產(chǎn)品選項
? 多個樣本點
? 額外的5 mL數(shù)字滴定管
? 附加傳感器
? 安全聯(lián)鎖裝置
? 試劑低液位檢測
優(yōu)勢
? 增加工具產(chǎn)量
? 降低化學品成本
? 實時過程監(jiān)控
? 降低批量損失
? 降低所有者成本
應(yīng)用
? 銅化學機械拋光
? 鎢化學機械拋光
? 濕法蝕刻
? 清潔
? DSP+
? 氮化物蝕刻
? PAN蝕刻
? 食人魚蝕刻
? HF
產(chǎn)品特點
? 4個4-20 mA 模擬輸出
? 8個可編程繼電器
? 以太網(wǎng)和 RS232 串口
? 彩色觸摸屏
? 集成試劑儲存
? 單采樣點
? 1個5mL數(shù)顯滴定管
? 多個傳感器輸入
規(guī)格
分析方法 | 電位法/標準加入法/光度法 |
精確度1 | ±0.2%顯示值 |
誤差度1 | 0.2%相對誤差 |
測量時間 | 少于5分鐘/分析(取決于應(yīng)用) |
校準頻率 | 自開始起2 |
樣品消耗量 | 小于 5 mL/次 |
樣品量 | 0.05 至 5 mL(取決于應(yīng)用) |
樣品溫度 | 低于93℃(200℉) |
耗水量 | 少于1000mL/次 |
樣品入口/返回 | 小于30 psi |
0.5升/分鐘 | |
1/4”外徑擴口接頭 | |
1”FPT 密封聯(lián)軸器 | |
去離子水 | 20-40 psi |
2升/分鐘 | |
1/4”外徑擴口接頭 | |
CDA | 60-80 psi |
1/4”外徑快速接頭 | |
過程排放 | 3/4”NPT 重力排放 |
機箱排水 | 1/2”NPT 重力排放 |
電源 | 110 /220 VAC,50 /60 Hz,1 /0.5A 現(xiàn)場可切換 |
排水 | 1 7 /8” OD @ 17 CFM |
外形尺寸 | 39.00”H x 27.00”W x 16.00”D |
1僅指“硬件”。應(yīng)用、化學和工藝條件等外部因素會影響系統(tǒng)準確度和精密度。
2這不包括 pH 傳感器的校準。有關(guān)詳細信息,請參閱安裝和操作手冊。Entegris 相信此處包含的數(shù)據(jù)是真實的,所表達的意見是合格專家對所進行測試的結(jié)果的看法,這些數(shù)據(jù)不應(yīng)被視為 Entegris 承擔法律責任的保證或陳述。提供的數(shù)據(jù)僅供考慮、調(diào)查和驗證。對這些數(shù)據(jù)和信息的任何使用都必須由用戶決定,以符合聯(lián)邦、州和當?shù)氐姆煞ㄒ?guī)。所有規(guī)格如有更改,恕不另行通知。
規(guī)模大小
暫無數(shù)據(jù)!
隨著近年來氫電的發(fā)展,燃料電池憑借其高效、清潔的特性而在市場上備受關(guān)注。在燃料電池的制備過程中不可缺少的是高催化活性及高穩(wěn)定性的催化劑。常見的有以石墨為載體的載鉑催化劑——Pt/C催化劑,即鉑碳催化劑
2020-05-14
2020-07-07
2020-07-08
JP17動態(tài)光散射法測量粒徑解讀摘要:JP17是日本2016年出版的第17改正版藥典,是指導日本醫(yī)藥行業(yè)生產(chǎn)與檢測的主要文件。其在補充章節(jié)1介紹了動態(tài)光散射法的工作原理及其測量粒徑規(guī)范要求,主要包含粒
2022-07-19
第67屆(2025年秋季)全國制藥機械博覽會暨2025(秋季)中國國際制藥機械博覽會將于2025年10月16日-18日在青島世界博覽城舉辦。我們誠摯邀請您蒞臨奧法美嘉在本次展位(國際二館N5-38)。
不溶性微粒應(yīng)用專題 | ALP_AN_200_CN_中國藥典2025年版不溶性微粒標準與國外藥典的靠攏趨勢奧法美嘉微納米應(yīng)用工程中心 - 陳祎園中國藥典不溶性微粒標準的演進之路—對比2020版、202
尊敬的客戶:2025年版《中國藥典》將于2025年10月1日起正式施行。本次藥典修訂對藥品質(zhì)量控制標準做出重要更新,其中與貴單位相關(guān)的<0903>章節(jié)(不溶性微粒檢查項目)及<098
介紹本文隸屬于復(fù)雜制劑應(yīng)用專題,全文共 7076 字,閱讀大約需要 18 分鐘摘要:疫苗中亞可見顆粒的存在對產(chǎn)品的安全性、有效性及質(zhì)量一致性具有重要影響。這些顆??赡軄碓从诘鞍踪|(zhì)聚集、乳化劑聚集或外源
介紹本文隸屬于其他行業(yè)應(yīng)用專題,全文共 3773 字,閱讀大約需要 10 分鐘摘要:燒傷愈合軟膏在臨床治療中需求廣泛,尤其是針對一、二度燒傷,需兼顧常溫穩(wěn)定性與皮膚接觸時的易涂抹性,以提升治療效果和患
介紹本文隸屬于電池行業(yè)應(yīng)用專題,全文共 3624字,閱讀大約需要 10 分鐘摘要:隨著電動汽車和儲能技術(shù)的快速發(fā)展,鋰離子電池需求激增,電池回收成為保障材料供應(yīng)鏈的關(guān)鍵。歐盟法規(guī)要求到2031年,銅、