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全自動(dòng)離子濺射儀ETD-800
全自動(dòng)離子濺射儀ETD-800

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北京博遠(yuǎn)微納科技有限公司

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ETD-800 型全自動(dòng)等離子濺射儀外觀亮麗做工精致,

機(jī)箱大小僅有310mm x 260mm x 115mm。

ETD-800小型離子濺射儀是專門為掃描電子顯微鏡用戶設(shè)計(jì)的全自動(dòng)鍍膜設(shè)備;

操作簡(jiǎn)便,放入樣品后可一鍵搞定;數(shù)字式計(jì)數(shù)器滿足精準(zhǔn)定時(shí)要求。

特別適用對(duì)膜顆粒大小要求高的場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡。

具有成膜均勻,操作簡(jiǎn)單,所需時(shí)間短,過程可控等優(yōu)點(diǎn)。

可以使用Au,Pt,Cr、Al、Cu等靶材。

配有高位定性的飛躍真空泵

參數(shù):

主機(jī)規(guī)格:260mm×307mm×260mm(W×D×H)

電源規(guī)格:220V(可做110V),50HZ

靶(上部電極):50mm×0.1mm(D×H)

靶材:Au(標(biāo)配),也可根據(jù)實(shí)際情況配備銀靶、鉑靶等。

真空樣品室: 硼硅酸鹽玻璃 115mm×100mm(D×H)

定時(shí)器: *長(zhǎng)時(shí)間:3600S

機(jī)械泵: 1L/S

**電壓: -1200 DCV

特點(diǎn):

1、同時(shí)可以通過更換不同的靶材(金、鉑、銀等),以達(dá)到更細(xì)顆粒的涂層。

2、一鍵式操作,使用方便。

3、真空保護(hù)可避免真空過低造成設(shè)備短路。

需要鍍膜的樣品

1、電子束敏感的樣品:

主要包括生物樣品,塑料樣品等。S EM中的電子束具有較高能量,在與樣品的相互作用過程中,它以熱的形式將部分能量傳遞給樣品。如果樣品是對(duì)電子束敏感的材料,那這種相互作用會(huì)破壞部分甚至整個(gè)樣品結(jié)構(gòu)。這種情況下,用一種非電子束敏感材料制備的表面鍍層就可以起到保護(hù)層的作用,防止此類損傷;

2、非導(dǎo)電的樣品:

由于樣品不導(dǎo)電,其表 面帶有“電子陷阱”, 這種表面上的電子積累 被稱為“充電”。為了 消除荷電效應(yīng),可在樣 品表面鍍一層金屬導(dǎo)電 層,鍍層作為一個(gè)導(dǎo)電 通道,將充電電子從材 料表面轉(zhuǎn)移走,消除荷 電效應(yīng)。在掃描電鏡成 像時(shí),濺射材料增加信 噪比,從而獲得更好的成像質(zhì)量。

3、新材料:非導(dǎo)電材料和半導(dǎo)體材料

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10分

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10分

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