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ETD-80AF小型熱蒸發(fā)鍍膜儀
ETD-80AF小型熱蒸發(fā)鍍膜儀

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北京

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北京博遠微納科技有限公司

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ETD-80AF型熱蒸發(fā)鍍膜儀把待鍍膜的基片或工件置于真空室內,通過對鍍膜材料加熱使其蒸發(fā)氣化而沉積與基體或工件表面并形成薄膜或涂層的工藝過程。

配有高位定性的飛躍真空泵

ETD-80AF type thermal evaporation coating instrument A process in which the substrate or workpiece is placed in a vacuum chamber to vaporized and vaporized by heating the coating material and deposited on the surface of the substrate or the workpiece to form a film or coating.

Vacuum pump equipped with high quality

配套泵蒸發(fā)靶材蒸發(fā)電流操作真空樣品倉尺寸樣品臺尺寸工作電壓
兩升飛躍泵碳棒

**電流

100A,工作電流0-80A

2*10-2mbar

直徑

170,

高120mm

樣品臺尺寸直徑150mm

220V,

50HZ

需要鍍膜的樣品

電子束敏感的樣品非導電的樣品新材料
主要包括生物樣品,塑料樣品等。S EM中的電子束具有較高能量,在與樣品的相互作用過程中,它以熱的形式將部分能量傳遞給樣品。如果樣品是對電子束敏感的材料,那這種相互作用會破壞部分甚至整個樣品結構。這種情況下,用一種非電子束敏感材料制備的表面鍍層就可以起到保護層的作用,防止此類損傷;由于樣品不導電,其表面帶有“電子陷阱”,這種表面上的電子積累被稱為“充電”。為了消除荷電效應,可在樣品表面鍍一層金屬導電層,鍍層作為一個導電通道,將充電電子從材料表面轉移走,消除荷電效應。在掃描電鏡成像時,濺射材料增加信噪比,從而獲得更好的成像質量。非導電材料實驗電極制作觀察導電特性
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