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氦離子色譜儀適用電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測，小檢測濃度可達(dá)5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測器，采用華愛公司的中心切割技術(shù)，進(jìn)樣閥均帶有吹掃保護(hù)氣路；整機(jī)采用多柱箱設(shè)計(jì)，并配備進(jìn)樣壓力自動校正系統(tǒng)，不同底氣的樣品的進(jìn)樣量。產(chǎn)品先后榮獲上海市成果轉(zhuǎn)化A級項(xiàng)目。
氪分析用氦離子色譜儀參考：GB/T 5829-2006 氪氣
| 項(xiàng)目 | 指標(biāo) | |||
| 高純氪 | 純氪 | |||
| 一等品 | 合格品 | |||
| 氪氣（Kr）（體積分?jǐn)?shù)）/10-2 | ≥ | 99.999 | 99.995 | 99.99 |
| 氮（N2）（體積分?jǐn)?shù)）（N2）/10-6 | ≤ | 2 | 8 | 20 |
| 氧（O2）+氬（Ar）（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ≤ | 1.5 | 5 | 5 |
| 氫（H2）（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ≤ | 0.5 | 1 | 2 |
| 一氧化碳（CO）（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ≤ | 0.3 | 0.4 | 1 |
| 二氧化碳（CO2）（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ≤ | 0.4 | 0.8 | 1 |
| 甲烷（CH4）（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ≤ | 0.3 | 0.8 | 1 |
| 水分（H2O）（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ≤ | 2 | 3 | 5 |
| 氙氣（Xe）（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ≤ | 2 | 20 | 50 |
| 氟化物（CF4）（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 | ≤ | 1 | 10 | 15 |
A通道
B通道
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