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四氟化碳分析氦離子色譜儀配備高靈敏的氦離子化檢測(cè)器，采用華愛(ài)公司的中心切割技術(shù)，進(jìn)樣閥均帶有吹掃保護(hù)氣路；整機(jī)采用多柱箱設(shè)計(jì)，并配備進(jìn)樣壓力自動(dòng)校正系統(tǒng)，不同底氣的樣品的進(jìn)樣量。產(chǎn)品先后榮獲上海市成果轉(zhuǎn)化A級(jí)項(xiàng)目。
| 項(xiàng)目 | 指 標(biāo) | ||
| 四氟化碳（CF4）純度（體積分?jǐn)?shù)）/10-2 ≥ | 99.999 | 99.995 | 99.99 |
| 氮（N2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 ＜ | 4 | 20 | 40 |
| 氧+氬（O2+Ar）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 ＜ | 1 | 5 | 10 |
| 二氧化碳（CO2）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 ＜ | 1 | 5 | 10 |
| 一氧化碳（CO）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 ＜ | 0.1 | 0.5 | 1 |
| 六氟化硫（SF6）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 ＜ | 1 | 1 | 5 |
| 水分（H2O）含量（體積分?jǐn)?shù)）/含量，10-6 ＜ | 3 | 5 | 10 |
| 酸度（以HF計(jì)）含量含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 ＜ | 0.1 | 0.3 | 0.3 |
| 其它鹵碳化合物a含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 ＜ | 1 | 10 | 30 |
| 總雜質(zhì)含量(體積分?jǐn)?shù))/l0-6 ≤ | 10 | 50 | 10 |
| 顆粒 | 供需雙方商定 | 供需雙方商定 | 供需雙方商定 |
其它鹵碳化合物包括：六氟乙烷、八氟丙烷等。 | |||
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