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英國(guó)HHV適合手套箱集成的真空鍍膜系統(tǒng)Auto500 GB
Auto500GB是專門設(shè)計(jì)用于手套箱集成使用的鍍膜設(shè)備，滿足氧氣或水汽敏感的材料鍍膜的應(yīng)用要求。該系統(tǒng)配了一個(gè)特殊結(jié)構(gòu)的真空腔室，可直接與市場(chǎng)上大多數(shù)手套箱集成到一起。真空腔室的前門可豎直滑動(dòng)開關(guān)，嵌入手套箱內(nèi)，并占用很少的手套箱空間；其后門是鉸鏈扇式開關(guān)，能在不影響手套箱內(nèi)氣氛的情況下輕松維護(hù)腔室內(nèi)工藝組件。
鍍膜源選項(xiàng)包括熱阻蒸發(fā)源、精密控溫的有機(jī)蒸發(fā)源、磁控濺射源以及電子束蒸發(fā)源。
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