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OAI Model 212型桌面掩模對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

。輸出光譜范圍:Hg: G(436nm)，H(405nm)，I(365nm)和310nm，Hg-Xe: 260 nm和220 nm或LED:365 nm、395 nm和405 nm

。燈功率范圍從1000到5000 w

。選擇UVLED (365 nm和405 nm)光源

。基片尺寸范圍從12“dia平方

。特殊12“x 12”和3毫米厚玻璃基板

。互換拋擲和面具

。空氣軸承真空吸盤(pán)

。接近(15-20umgap): & lt; 3.0 - 5.0，柔軟觸點(diǎn):2.0um，硬觸點(diǎn):1um和真空接點(diǎn):≤0.5um

。對(duì)齊模塊X， Y，和Z軸和θ

。雙通道光學(xué)反饋

。只提供正面接觸w / IR選項(xiàng)

。僅在桌面選項(xiàng)可用，適用于研發(fā)和獨(dú)立的工作

。占用空間小

。適用于生物學(xué)、微機(jī)電系統(tǒng)、半導(dǎo)體和Microfludics CLiPP應(yīng)用程序

Model 212 Table Top Mask Aligner System

。 Output Spectra Range: Hg: G (436nm)， H (405nm)， I(365nm) and 310nm lines， Hg-Xe: 260nm and 220nm or LED: 365nm， 395nm and 405nm

。 Lamp Power range from 1000 to 5000W

。 Option for UVLED (365nm and 405nm) Light Source

。 Substrate sizes range from 12” dia to sq

。 Special 12” x 12” and up to 3mm thick Glass Substrates

。 Interchangeable chucks and mask holders

。 Air bearing vacuum chuck

。Proximity (15-20umgap ): <3.0 – 5.0um， Soft Contact: <2.0um， Hard contact: 1um and vacuum contact : ≤ 0.5um

。 Alignment module X， Y， and Z axis and theta

。 Dual-channel optical feedback

。 Provides Front side exposure only w/ IR Option

。 Available in Table top option only and applicable for R&D and standalone work

。 Small Footprint

。 Applicable for Biology， MEMS， Semiconductor and Microfludics， CLiPP applications