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Fastmicro 晶圓表面顆粒物快速檢測(cè)系統(tǒng)(PDS)
Fastmicro 晶圓表面顆粒物快速檢測(cè)系統(tǒng),專(zhuān)為各行業(yè)產(chǎn)品表面顆粒污染物直接測(cè)量而設(shè)計(jì),主要應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的晶圓、薄膜及光罩檢測(cè),也可用于顯示市場(chǎng)等基板檢測(cè)。該系統(tǒng)配備 4-12 英寸視場(chǎng)(FOV)掃描區(qū)域,支持上下表面檢測(cè)。其獨(dú)特光學(xué)設(shè)計(jì)使產(chǎn)品在計(jì)量過(guò)程中無(wú)需移動(dòng)即可完成檢測(cè)。該系統(tǒng)可根據(jù)不同生產(chǎn)工藝需求進(jìn)行定制,或直接集成至產(chǎn)線(xiàn)。
生產(chǎn)過(guò)程中的一致性測(cè)量
快速: 能在數(shù)秒內(nèi)完成大面積成像
定量: 適用于生產(chǎn)與研發(fā)環(huán)境的驗(yàn)證與監(jiān)測(cè)
操作簡(jiǎn)便: 不受操作人員影響,自動(dòng)化,潔凈抓取方式
精準(zhǔn): 高分辨率測(cè)量(數(shù)量、位置、尺寸)
一致性: 每次測(cè)量都保持客觀、穩(wěn)定
高通量: 能在工藝時(shí)間窗口內(nèi)得出結(jié)果
FM-PDS: 直接檢測(cè)表面顆粒
該系統(tǒng)可為晶圓制造工藝、下一代化合物半導(dǎo)體以及先進(jìn)封裝應(yīng) 用,提供高通量的表面顆粒污染檢測(cè)服務(wù)。
該系統(tǒng)對(duì)粒徑大于 0.1&μm 的顆粒具有高靈敏度,是一種高 效且提供全方位服務(wù)的選擇。
它能以手動(dòng)或自動(dòng)的操作方式,以及 較低的維護(hù)成本,取代傳統(tǒng)的顆粒檢測(cè)系統(tǒng)。
對(duì)于下一代半導(dǎo)體生產(chǎn)應(yīng)用, PDS 系統(tǒng)具備獨(dú)特的屬性:雙面同 時(shí)掃描(選配);
靜態(tài)視場(chǎng)掃描(在圖像采集過(guò)程中無(wú)需移動(dòng)產(chǎn)品)。
多功能模塊化平臺(tái)
系 統(tǒng) 可 定 制,以 適 應(yīng) 每 個(gè) 生 產(chǎn) 認(rèn) 證 流 程,或 融 入 生 產(chǎn) 線(xiàn) 。其 配 置 包括手動(dòng)或自動(dòng)晶圓抓取移動(dòng)設(shè)備、用于檢測(cè)和清潔的封裝開(kāi)啟 設(shè)備、填充設(shè)備、機(jī)械臂、檢測(cè)單元以及清潔設(shè)備。
該系統(tǒng)可根據(jù)需要客戶(hù)需求進(jìn)行定制和擴(kuò)展。測(cè)量模塊也可為系 統(tǒng)集成商和原始設(shè)備制造商(OEM)提供貼牌服務(wù)。
暫無(wú)數(shù)據(jù)!
今年 11 月 2 日起,每日早七點(diǎn)至晚八點(diǎn),包括延安高架、南北高架在內(nèi)的多條道路禁止“外牌”、“臨牌”小客車(chē)、未載客的出租車(chē)等通行。因?yàn)樾履茉雌?chē)車(chē)牌較容易獲得,不少人轉(zhuǎn)投新能源汽車(chē),因此帶動(dòng)了新能
2020-12-21
隨著鋼鐵行業(yè)進(jìn)入微利時(shí)代,生產(chǎn)具有更高附加值的高品質(zhì)潔凈鋼也成為鋼鐵企業(yè)自身發(fā)展的需求。因此,潔凈鋼技術(shù)研究及其生產(chǎn)工藝控制技術(shù)目前已是各鋼鐵企業(yè)的重要課題。生產(chǎn)潔凈鋼的關(guān)鍵在于減少鋼中的雜質(zhì),而控制
2020-12-21
2020-12-21
2025 年 10 月 30 日至 31 日,飛納電鏡將舉辦一場(chǎng)專(zhuān)為電鏡用戶(hù)設(shè)計(jì)的培訓(xùn)會(huì),地點(diǎn)位于西安!無(wú)論你是初學(xué)者還是有經(jīng)驗(yàn)的科研人員,這次培訓(xùn)都將為你提供豐富的學(xué)習(xí)機(jī)會(huì),助你提升操作技能,拓展科
隨著電子顯微技術(shù)的不斷進(jìn)步,如何高效、精確地制備高質(zhì)量的薄片已成為材料科學(xué)和納米技術(shù)領(lǐng)域的重要議題。作為一種常用的薄片制備方法,聚焦離子束(FIB)技術(shù)雖被廣泛應(yīng)用,但在使用過(guò)程中會(huì)涉及到高能離子及
瑞典皇家科學(xué)院決定,將 2025 年諾貝爾化學(xué)獎(jiǎng)授予北川進(jìn)(Susumu Kitagawa)、理查德?羅布森(Richard Robson)與奧馬爾?M?亞吉(Omar M. Yaghi),以表彰三人
隨著石油資源的消耗,油氣開(kāi)采重點(diǎn)轉(zhuǎn)移到了頁(yè)巖油方向,高質(zhì)量的壓裂支撐劑可以提供更好的油氣滲透率,實(shí)現(xiàn)油氣增產(chǎn)。綠色低碳的發(fā)展理念也促使相關(guān)企業(yè)展開(kāi)高效環(huán)保的石化催化劑、高附加值、高性能石化產(chǎn)品的研制。
隨著石油資源的消耗,油氣開(kāi)采重點(diǎn)轉(zhuǎn)移到了頁(yè)巖油方向,高質(zhì)量的壓裂支撐劑可以提供更好的油氣滲透率,實(shí)現(xiàn)油氣增產(chǎn)。綠色低碳的發(fā)展理念也促使相關(guān)企業(yè)展開(kāi)高效環(huán)保的石化催化劑、高附加值、高性能石化產(chǎn)品的研制。
引言:神經(jīng)科學(xué)與生命科學(xué)研究的發(fā)展,離不開(kāi)先進(jìn)顯微技術(shù)的支持。掃描電鏡憑借高分辨率與立體成像優(yōu)勢(shì),已成為解析神經(jīng)元超微結(jié)構(gòu)與突觸連接的重要工具。作為全球領(lǐng)先的臺(tái)式電鏡品牌,飛納電鏡推出的 Pharos