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等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)CVD
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等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)CVD

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    目前項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)自主研發(fā)的CVD設(shè)備可在多種襯底上(如金屬、氧化物、半導(dǎo)體表面)直接生長以石墨烯為代表的各類新型二維材料,用于新材料、新器件的研發(fā)。工藝簡單廉價,且具有傳統(tǒng)半導(dǎo)體生長工藝的兼容性。

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