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紅外氣體傳感器 Gasboard-2060
紅外氣體傳感器 Gasboard-2060

參考價格

面議

型號

Gasboard-2060

品牌

四方儀器

產地

湖北武漢

樣本

暫無
四方光電(武漢)儀器有限公司

高級會員

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第2年

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紅外氣體傳感器.jpg

產品名稱:紅外氣體傳感器

產品型號:Gasboard-2060


紅外氣體傳感器產品概述

紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器,產品基于非分光紅外技術(NDIR),能夠精確測量半導體等應用中產生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內常見預留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議,可用于半導體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產量。


紅外氣體傳感器產品特性

  • 使用NDIR技術,多氣體監(jiān)測支持(SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)

  • 響應時間快,高靈敏度

  • 無耗材

  • 模擬/數(shù)字通信

  • 模塊化設計,便于集成


紅外氣體傳感器技術參數(shù)

檢測原理NDIR
檢測氣體SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2
量程1~264ppm(0~200mTorr)
重復性±0.5%
線性±1%F.S.
檢測限1ppm


創(chuàng)新點

使用NDIR技術,多氣體監(jiān)測支持(SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)

響應時間快,高靈敏度

無耗材

模擬/數(shù)字通信

模塊化設計,便于集成

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產品質量

10分

售后服務

10分

易用性

10分

性價比

10分
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