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澤攸科技ZEL304G電子束光刻機(jī)(EBL)采用場(chǎng)發(fā)射電子槍,配合一體化的高速圖形發(fā)生系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)對(duì)半導(dǎo)體晶圓的高速、高分辨光刻。該系統(tǒng)標(biāo)配高精度激光干涉樣品臺(tái),允許用戶實(shí)現(xiàn)大行程高精度拼接和套刻需求,在新材料、前沿物理研究、半導(dǎo)體、微電子、光子、量子研究領(lǐng)域發(fā)揮重要作用。
產(chǎn)品特色
▲ 激光干涉樣品臺(tái):先進(jìn)的激光干涉樣品臺(tái),滿足大行程高精度拼接和套刻需求
▲ 場(chǎng)發(fā)射電子槍:高分辨場(chǎng)發(fā)射電子槍是光刻質(zhì)量的重要保證
▲ 圖形發(fā)生器:在保證超高速掃描的同時(shí)實(shí)現(xiàn)超高分辨率圖案繪制
樣品臺(tái)指標(biāo)
應(yīng)用案例
暫無數(shù)據(jù)!
液晶顯示器(Liquid Crystal Display, LCD)是當(dāng)前社會(huì)中應(yīng)用非常多的顯示器,在日常生活中隨處可見。LCD主要由彩色濾光片基板(Color filter,CF)、TFT陣列(TF
2025-07-02
柔性光伏太陽(yáng)能電池具有輕薄、防震、自供電等特征,有集成到建筑物或可穿戴電子設(shè)備中的巨大潛力。如果大家留意就會(huì)發(fā)現(xiàn),晶硅太陽(yáng)能電池是當(dāng)今社會(huì)中應(yīng)用最為廣泛的太陽(yáng)能電池,在日常生活中隨處可見,盡管科學(xué)家
2025-07-03
利用PicoFemto?原位樣品桿發(fā)表的研究成果持續(xù)更新中,未來小編還將不斷更新產(chǎn)品應(yīng)用案例。錯(cuò)過之前報(bào)道的老師們也可以在公眾號(hào)首頁(yè)點(diǎn)擊"往期文章"閱讀。也歡迎大家關(guān)注公眾號(hào),這里
2025-07-03
冰是水在自然界中的固體形態(tài),在大自然中也廣泛存在,冰的結(jié)構(gòu)及形成機(jī)理研究對(duì)云物理及低溫儲(chǔ)存物理至關(guān)重要,因此科學(xué)家們對(duì)冰的研究也歷史久遠(yuǎn)。提到冰在較小尺度的存在形態(tài),我們最容易想到的是雪花。如下圖所示
2025-07-03
9月12日至14日,中國(guó)物理學(xué)會(huì)2025秋季學(xué)術(shù)會(huì)議將在哈爾濱工程大學(xué)舉辦。澤攸科技將攜一眾先進(jìn)科學(xué)儀器及最新微納技術(shù)領(lǐng)域行業(yè)解決方案亮相A086,我們期待您蒞臨展位參觀,共同探討行業(yè)的未來發(fā)展,攜手
9月10日至12日,第二十六屆中國(guó)國(guó)際光電博覽會(huì)(CIOE)將在深圳國(guó)際會(huì)展中心(寶安新館)舉辦。澤攸科技將攜一眾先進(jìn)科學(xué)儀器及最新微納技術(shù)領(lǐng)域行業(yè)解決方案亮相3B22,我們期待您蒞臨展位參觀,共同探
Cu-Ni-Sn合金因其優(yōu)異的高強(qiáng)度、熱穩(wěn)定性、耐磨性、抗腐蝕性以及安全無毒等特性,在航空航天、電子器件和核工業(yè)等多個(gè)高端領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。特別是Cu-6Ni-6Sn合金,已成功應(yīng)用于高功率密度柴油
研究背景在“雙碳”目標(biāo)與新一代信息技術(shù)自主可控的國(guó)家戰(zhàn)略驅(qū)動(dòng)下,高功率、高頻率電子器件對(duì)超寬禁帶半導(dǎo)體材料提出迫切需求。金剛石憑借超高擊穿場(chǎng)強(qiáng)(5–10 MV/cm)、優(yōu)異熱導(dǎo)率(~2000 W/m·
在科學(xué)探索的征途上,人類對(duì)微觀世界的渴望從未停止。從列文虎克用自制顯微鏡首次窺見微生物,到今天我們能夠清晰地觀察原子排列,顯微技術(shù)的每一次飛躍都極大地拓寬了我們認(rèn)知邊界。然而當(dāng)探索的尺度進(jìn)入納米級(jí)別時(shí)
研究背景在人工智能、物聯(lián)網(wǎng)和大數(shù)據(jù)等技術(shù)飛速發(fā)展的時(shí)代背景下,全球?qū)Ω咝阅苡?jì)算硬件的需求日益迫切,研發(fā)速度更快、尺寸更小、能耗更低的下一代信息存儲(chǔ)與處理技術(shù)已成為關(guān)鍵的國(guó)家級(jí)戰(zhàn)略需求。然而傳統(tǒng)的半導(dǎo)