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MaxMile LED 外延片 EL/PL 聯(lián)合測(cè)試系統(tǒng)

4-inch Desktop 8-inch Desktop Robot I System Robot II System

1、外延尺寸(**12” ): 2"-4" 2"-8" 2"-8" 2"-8"

2、工作臺(tái)尺寸(W×D×H):18"×18"×14" 18"×18"×14" 32"×32"×68" 57"×32"×68"

3、外延裝載功能： manual manual manual/robot robot

4、裝載盒數(shù)量： n/a n/a 1 up to 3

5、裝載盒檢測(cè)： n/a n/a yes yes

6、外延尺寸檢測(cè)： n/a n/a yes yes

7、裝載盒外延映射： n/a n/a yes yes

8、預(yù)對(duì)準(zhǔn)： n/a n/a yes yes

9、外延片快速映射功能測(cè)試：

標(biāo)準(zhǔn)：EL（電致發(fā)光），PL（光致發(fā)光），EL / PL相結(jié)合，IV，反向特性，翹曲。

可選：膜厚測(cè)試 ，GaN on Si特征，測(cè)試溫度控制。*

10、光譜檢測(cè)范圍：從紫外到近紅外（默認(rèn)為200nm—800nm）

11、光譜分辨率：0.5-2 nm，取決于光譜范圍選擇和系統(tǒng)配置

12、測(cè)試項(xiàng)目：

1、電致發(fā)光Mapping：

波長(zhǎng)--WLP/WLD/WLC （峰值/主/中心）波長(zhǎng)，半高寬度。

強(qiáng)度—輻射/發(fā)光功率，轉(zhuǎn)換效率。

電流—正向電流/電壓，導(dǎo)通電壓，反向漏電流/電壓，閾值電壓，導(dǎo)通電阻，頂部電阻

正向漏電流，串接電阻，理想因子，等。

2、光致發(fā)光：

波長(zhǎng)—WLP/WLD/WLC （峰值/主/中心）波長(zhǎng)，半高寬度。

強(qiáng)度—輻射/發(fā)光功率，轉(zhuǎn)換效率。

3、IV特性Mapping：

正向電流/電壓，反向漏電流/電壓，閾值電壓，導(dǎo)通電阻，等。

4、其他特性Mapping：

翹曲度

薄膜厚度*

5、測(cè)試曲線類型：

特定驅(qū)動(dòng)電流/電壓的電致發(fā)光光譜

光致發(fā)光譜

LIV—電流/發(fā)光強(qiáng)度— 電壓

輸出強(qiáng)度— 驅(qū)動(dòng)電流

波長(zhǎng)&半高寬— 驅(qū)動(dòng)電流

反向IV

6、CVD外延布局Mapping:

對(duì)于上述所有測(cè)試項(xiàng)目，無(wú)論mapping還是快速測(cè)試均可做布局圖

注意：軟件可以客制化，可為客戶特殊的器件參數(shù)做mapping圖

13、激發(fā)源：EL: Keithley 數(shù)字電源;PL:405nm標(biāo)配，MaxMile配置其他激發(fā)源。

14、EpiEL探針類型：Type I， Type IA， Type II， Type IIA， Type IIB， Type IIC， and GaN-on-Si

15、電流測(cè)試：>10 -12A

16、控制單元與操作系統(tǒng):EpiEL內(nèi)部電腦使用64位微軟Windows7/8操作系統(tǒng)

17、采樣點(diǎn)/采樣步驟：

1、電致發(fā)光采樣點(diǎn)和每個(gè)點(diǎn)的光/電測(cè)量步驟都可由*終用戶設(shè)置。

2、光致發(fā)光采樣點(diǎn)可以由*終用戶（高分辨率應(yīng)用于高要求的應(yīng)用，快速掃描可用于批量生產(chǎn)的質(zhì)量控制。

3、用戶可自定測(cè)試點(diǎn)的布局。

18、測(cè)試時(shí)間：每片外延片測(cè)試約0.5-12分鐘，這取決于測(cè)試類型、采樣點(diǎn)、檢測(cè)協(xié)議和測(cè)量步距設(shè)置的不同之處; 光致發(fā)光選項(xiàng)掃描速度是每秒*多達(dá)50點(diǎn)。

19、報(bào)告生成與數(shù)據(jù)展示：HTML (Brief/Abbreviated/Full) /XML/CSV/TXT

20、Mapping顏色編碼:彩虹色，漸變色，二元色，溫度，灰色，或任何由*終用戶指定的顏色類型。

21、電源：15A/110VAC 或是10A/220VAC（**電壓）;機(jī)器人系統(tǒng)需要真空。

22、環(huán)境條件:溫度： 15℃ - 30℃ ，相對(duì)濕度：30％ -70％無(wú)凝結(jié)。

Epi-EL/PL聯(lián)合測(cè)試系統(tǒng)