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D500i凹坑儀
D500i凹坑儀

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美國(guó)

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北京中興百瑞技術(shù)有限公司

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凹坑儀設(shè)備建立了TEM樣品制備機(jī)械預(yù)減薄的標(biāo)準(zhǔn)。其凹坑方法已經(jīng)成功運(yùn)用于許多不同的材料,如硅、鎵砷化合物、鍺、藍(lán)寶石、氧化物、碳化物、硼化物、硅化物、玻璃、多相材料、Ⅲ-Ⅴ半導(dǎo)體、鋁合金、陶瓷、碳和碳復(fù)合物。

規(guī)格:

- 大小

長(zhǎng) 27" (68.6 cm) 14" (35.6 cm)

13" (33.0 cm) 70 (32 kg)

- 公差

電子:

Z 偏移量:精確1μm

范圍:2000 μm

工具速度:100 to 600 RPM, 恒速

樣品壓盤(pán)轉(zhuǎn)速:10 RPM, 恒速

1 把樣品臺(tái)放到加熱臺(tái)上,加熱5分鐘后加少許石蠟,粘上樣品;

2 使用Gatan623手動(dòng)研磨盤(pán),在1000號(hào)的砂紙上,將樣品研磨至80μm左右;

3 將粘有樣品的圓柱臺(tái)放在凹坑儀上,啟動(dòng)TABLE馬達(dá),在顯微鏡下調(diào)整樣品臺(tái)位置,對(duì)樣品定位對(duì)中;

4 加20 g的配重載荷,選擇中等打磨速度,裝上研磨輪,并小心地把磨輪降到樣品臺(tái)沒(méi)有樣品的地方,逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)微米進(jìn)程驅(qū)動(dòng)器,使刻度盤(pán)指示器的指針轉(zhuǎn)滿一 整圈后剛好停在零點(diǎn)位置;按下ZERO,設(shè)置零點(diǎn);

5 旋轉(zhuǎn)升降凸輪,把研磨輪放到樣品表面上:刻度盤(pán)指示器顯示樣品材料和固定蠟的總厚度;

6 用竹簽放入少量6μm金剛石研磨膏到銅研磨輪和樣品上,加蒸餾水潤(rùn)滑;同時(shí)開(kāi)啟兩個(gè)馬達(dá)開(kāi)始研磨,研磨過(guò)程需隨時(shí)加蒸餾水潤(rùn)滑;

7 研磨完畢后,在輪軸上換上3μm拋光輪,徹底清除掉樣品上殘留的研磨膏, 把樣品臺(tái)放回磁轉(zhuǎn)盤(pán)上,用顯微鏡對(duì)中;調(diào)節(jié)載荷和轉(zhuǎn)速,降下拋光輪對(duì)樣品 進(jìn)行粗拋光;

8 取下樣品臺(tái),把粗拋光過(guò)程中殘留的拋光膏完全沖掉;換上新的拋光輪, 使用粒度為0.05μm的氧化鋁拋光膏繼續(xù)拋光,需隨時(shí)觀察、加蒸餾水潤(rùn)滑;

9 拋光完畢后,沖洗拋光輪,擦拭輪軸;用棉簽清潔、沖洗樣品;

10 將樣品連同樣品臺(tái)同時(shí)放入丙酮溶液中,待樣品自行脫落后取出樣品。

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