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●本設備在成都光學鍍膜機產業(yè)鏈發(fā)達基礎上，在核心部件、控制系統(tǒng)和結構設計上吸收國際一流產品技術精髓，開發(fā)出surpass系列產品。本設備適用于高精密光通訊產品鍍制光學膜: 電學膜、金屬膜、激光膜、冷光膜、分光膜、增透膜、各種濾光片、玻璃片及塑膠（樹脂）件上鍍制增透膜、帶通膜和截止膜等各種膜系的鍍膜，能夠根據客戶需求定制。

●形式：φ650-3500mm，箱式一體機，立式前開門，蒸發(fā)室和抽氣室為整體焊接式，一體機系統(tǒng)。

●真空系統(tǒng)：極限真空8X10-5Pa，主泵為復合分子泵低溫泵擴散泵可選。

●真空測量：配三路數(shù)字復合真空計，均采用安全防爆金屬測量規(guī)。

●工件架系統(tǒng)：客戶需求定制，轉速3～30rpm變頻可調，工件盤為球形和行星工件盤可選。

●烘烤系統(tǒng)：不銹鋼鎧裝加熱器匹配數(shù)字功率控制器和PID控制模塊，烘烤溫度300℃，溫控精度1℃，過沖不超過2℃。

●電子束蒸發(fā)源：E型電子束蒸發(fā)源系統(tǒng)（E型）1-2套，主體有屏蔽罩，配置獨立高壓控制柜。

●旋轉蒸發(fā)源：電動轉位和點動轉位，配置無氧銅坩堝和石墨坩堝各一套。

●電阻蒸發(fā)源：2套電阻蒸發(fā)源。（選配）

●膜厚測試系統(tǒng)：配瑞士inficon石英膜厚在線測量系統(tǒng)， RS-232 和 USB兼容，匹配水冷膜厚探頭。

●離子源輔助沉積系統(tǒng)：一套（選配離子源或高壓離子轟擊系統(tǒng)）。