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●該設(shè)備為公司根據(jù)客戶工藝需求定制，與中國科學(xué)院某研究所國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室聯(lián)合研制，先后獲得獎(jiǎng)勵(lì)3項(xiàng)，聯(lián)合申報(bào)國家2項(xiàng)，用于固體潤滑、防腐和超硬表面改性等領(lǐng)域，服務(wù)于科研和國家重大項(xiàng)目需求，具有多功能、高穩(wěn)定和**的特點(diǎn)，歡迎各位聯(lián)合研制。

●設(shè)備主要由真空腔體、真空系統(tǒng)、工件盤系統(tǒng)、烘烤系統(tǒng)、濺射系統(tǒng)、離子轟擊系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)和在線測量系統(tǒng)組成，同時(shí)匹配空氣壓縮氣體氣源和水冷系統(tǒng)，可根據(jù)客戶使用需求定制。

●真空腔體：φ900X1050，雙層水冷；（可根據(jù)實(shí)際需求定制）

●真空系統(tǒng)：分子泵+低溫泵+羅茨泵+機(jī)械泵復(fù)合真空系統(tǒng)；

●真空抽速：4000-7000L/S，進(jìn)口全量程復(fù)合真空計(jì)，全金屬防爆真空規(guī)；

●極限真空：6.7X10-5Pa；（根據(jù)客戶選擇主泵確定）；