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連續(xù)回轉CVD系統(tǒng)
連續(xù)回轉CVD系統(tǒng)

參考價格

面議

型號

BTF-1200C-III-R-CVD-150

品牌

貝意克

產(chǎn)地

安徽合肥

樣本

暫無
安徽貝意克設備技術有限公司

金牌會員

|

第13年

|

生產(chǎn)商

工商已核實

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核心參數(shù)
  • 溫控精度:

    ±1℃
  • 最高溫度:

    1200℃
  • 額定溫度:

    ≤1100℃
  • 非金屬電熱元件:

    其他
  • 金屬電熱元件:

    鐵鉻鋁絲
  • 燒結氣氛:

    其他
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產(chǎn)品特色

1、三段電阻絲加熱爐,加熱溫區(qū)300+300+300,上下6點獨立控溫,溫場均勻性好;

2、設備兩端配有磁流體密封法蘭,確保爐管能在真空條件下進行轉動;

3、設備配有螺旋上料機構,上料電機轉速可調,可自由調節(jié)上料速度;

4、智能一體化工控屏顯示控制,操作界面簡潔,方便使用。


設備組成

本臺定制回轉CVD設備,可實現(xiàn)一次加3L粉料進行生產(chǎn);從結構上共分成主體設備、上料機構、收料機構三大模塊。

 

一、主體CVD設備

主體CVD設備主要包含加熱系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、爐管回轉機構。

1、加熱系統(tǒng):三溫區(qū)加熱爐膛,溫區(qū)長度300+300+300mm,總加熱功率12KW??販責犭娕紴镵型熱電偶,每段溫區(qū)爐膛上下各1個控溫點獨立控溫,提高爐膛溫場均勻性。

2、氣路系統(tǒng):6路工作氣體,分別由5個D07-19B 500sccm N2和1個CS200A 500sccm N2質量流量計控制進入混氣罐,另外配置1路吹掃氣路,由1個D07-19B 5slm N2質量流量計并聯(lián)接入混氣罐之前,可以對整個氣路系統(tǒng)進行吹掃。

3、真空系統(tǒng):采用BSV30真空泵,并配置PCG550真空計檢測腔體真空度。

4、爐管回轉機構:采用伺服電機,并配置1:30減速機,保證爐管回轉平穩(wěn)。

 

二、上料機構

上料機構由螺桿送料器、升降機構、滑動滑軌組成,送料前通過搖動渦輪升降器手柄可以調節(jié)螺桿送料器的送料螺桿的中心高度,與設備法蘭中心高度一致后,鎖緊升降器上方導柱的鎖緊手柄;可左右移動送料螺桿至合適位置進行送料。

 

三、收料機構

用真空泵將收料桶抽成真空狀態(tài),將收料桿深入設備內部物料處,打開收料桿上的球閥,利用真空負壓產(chǎn)生的吸力將物料吸入收料桶內。


技術參數(shù)

額定功率

15KW(加熱12KW+真空泵1.5KW+電機1.5KW)

額定電壓

AC380V  50/60Hz

**溫度

1200℃(<1h)

持續(xù)工作溫度

≤1100℃

推薦升溫速率

≤10℃/min

爐管尺寸

異型石英管

加熱區(qū)長度

300+300+300mm

恒溫區(qū)

600mm

控溫方式

10寸觸控屏控制,模糊PID控制和自整定調節(jié),智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能

控溫精度

±1℃

加熱元件

電阻絲

爐體尺寸

主體設備:2600*960*1500mm

上料機構:1600*600*1500mm

設備凈重

600Kg


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