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四探針測(cè)試儀FT-3110

參考價(jià)格

20-30萬元

型號(hào)

FT-3110

品牌

ROOKO

產(chǎn)地

浙江寧波

樣本

暫無
寧波瑞柯微智能科技有限公司

金牌會(huì)員

|

第11年

|

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功能介紹Function Introduction

四點(diǎn)探針法、全自動(dòng)化運(yùn)行測(cè)量系統(tǒng)

PC軟件采集和數(shù)據(jù)處理、ASTM方法

自動(dòng)正/負(fù)電流輸出,自動(dòng)正/負(fù)電壓測(cè)量

測(cè)量電阻率、方塊電阻、厚度

可調(diào)探針壓力、測(cè)試點(diǎn)數(shù)、多種模式

顯示2D,3D掃描/數(shù)值圖、溫濕度值

提供標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)電阻件、數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析

適用范圍Scope of application

晶圓、非晶硅/微晶硅和半導(dǎo)體襯底電阻率測(cè)量;選擇性發(fā)射極擴(kuò)散片;

表面鈍化片;交叉指樣PN結(jié)擴(kuò)散片;新型電極設(shè)計(jì),如電鍍銅電阻測(cè)量等;

規(guī)格型號(hào)

FT-3110A

FT-3110B(可擴(kuò)展)

1.方塊電阻

10^-5~2×10^5Ω/□

10^-6~2×10^5Ω/□

2.電阻率

10^-6~2×10^6Ω-cm

10-7~2×106Ω-cm

3.測(cè)試電流

0.1μA;1μA;10μA,100μA,1mA,

10mA,100mA

1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA

4.電阻精度

≤0.3%(標(biāo)準(zhǔn)電阻)

5.PC軟件操作

PC軟件界面:電阻、電阻率、電導(dǎo)率、方阻、溫度、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、2D、3D圖譜、報(bào)表生成

6.壓力范圍

探針壓力可調(diào)范圍:100-500g

7.探

鎢鋼材質(zhì),探針間距1mm;機(jī)械游移率:≤0.3%;其他規(guī)格可定制

8.載臺(tái)類型及尺寸選購(gòu)

選購(gòu)1:圓形載臺(tái)晶圓尺寸:2-12寸6寸150mm,12寸300mm

選購(gòu)2:方片載臺(tái)尺寸:153mm*153mm范圍內(nèi)定制規(guī)格

9.分析模式

單點(diǎn)、五點(diǎn)、九點(diǎn)、多點(diǎn)、直徑掃描、面掃描等模式的自動(dòng)測(cè)試

10.重復(fù)性

單點(diǎn)重復(fù)性:重復(fù)性0.5

11.防護(hù)功能

具有限位量程和壓力保護(hù);誤操作和急停防護(hù);異常警報(bào)

12.電源

輸入: AC 220V±10%.50Hz,  耗:<600W

半導(dǎo)體材料分析,鐵電材料,納米材料,太陽能電池,LCD,OLED,觸摸屏.


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10分

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