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超精密加工

推薦破解大尺寸氮化鋁加工瓶頸:化學(xué)機械拋光在晶圓表面超精密加工的創(chuàng)新實踐

中國粉體網(wǎng)訊 近年來,以氮化鋁、氧化鎵、金剛石等為代表的第四代超寬禁帶半導(dǎo)體材料逐漸興起,它們具有超寬禁帶、高電壓擊穿場、高熱導(dǎo)率、低熱膨脹系數(shù)以及耐高溫、抗輻射等特性,在紫外探測、芯片制造、高頻大功率電子器件等領(lǐng)域內(nèi)顯示出[更多]

資訊 拋光研磨拋光化學(xué)機械拋光超精密加工氮化鋁
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