推薦事關半導體產業(yè)安全！掩模板材料如何打破美日韓壟斷？

中國粉體網訊 光學掩模板，又稱光掩模板、掩模板、掩膜版、光掩膜、光刻掩膜版、光罩等，在薄膜、塑料或玻璃基體材料上制作各種功能圖形并精確定位，以便用于光致抗蝕劑涂層選擇性曝光的一種結構，是微電子制造中光刻工藝所使用的圖形母版。[更多]