推薦我國(guó)多晶硅生產(chǎn)集成工藝技術(shù)又獲新突破

科技部和中國(guó)電子材料行業(yè)協(xié)會(huì)在洛陽(yáng)中硅高科組織召開(kāi)驗(yàn)收評(píng)審會(huì)。中硅高科承擔(dān)的國(guó)家“十一五”科技支撐計(jì)劃課題大型三氯氫硅合成、提純工藝技術(shù)與關(guān)鍵裝置研究、高效加壓還原爐系統(tǒng)研究、大型低溫加壓四氯化硅氫化技術(shù)與裝置研究三個(gè)課題和[更多]