推薦北京歐波同：陶瓷材料難以檢測表征？試試這項技術(shù)

中國粉體網(wǎng)訊 由于具備密度低、耐高溫、高比強、抗氧化、高化學穩(wěn)定性和高導熱性等一系列優(yōu)點，陶瓷已經(jīng)成為了半導體設備精密部件的常用材料。作為半導體生產(chǎn)設備的關(guān)鍵部件，精密陶瓷部件占整個半導體設備成本的10%以上，故其研發(fā)生產(chǎn)直[更多]