推薦新型DSC陶瓷基板首次實現高性能IGBT線路刻蝕

中國粉體網訊 近日，深圳后浪實驗室利用自主研發(fā)的直接濺射陶瓷基板（Direct Sputtering Ceramic Substrate，DSC）首次完成曝光、顯影、蝕刻等工藝實現IGBT線路雙面刻蝕，制備的IGBT基板銅層[更多]