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芯片拋光

推薦一打聽嚇一跳,生產(chǎn)一枚芯片竟需要拋光30多次?

中國粉體網(wǎng)訊化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)是半導(dǎo)體晶片表面加工的關(guān)鍵技術(shù)之一。該技術(shù)綜合了拋光液的化學(xué)腐蝕作用和磨粒及拋光墊的機(jī)械去除作用,以實(shí)現(xiàn)拋光后工件表面的良好質(zhì)量、無損傷和高面形精度。徐嘉慧等,硅片化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)的研究進(jìn)展從20[更多]

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