推薦陶瓷：光刻機納米精度的“終極密碼”

中國粉體網(wǎng)訊 以光刻機為代表的集成電路核心裝備是現(xiàn)代技術(shù)高度集成的產(chǎn)物，涉及光學(xué)、材料學(xué)、計算機科學(xué)等40多個學(xué)科。在60余年的發(fā)展歷程中，光刻機（包括其零部件）不斷挑戰(zhàn)人類超精密制造裝備的極限，被譽為“現(xiàn)代光學(xué)工業(yè)之花”，[更多]