中國粉體網(wǎng)訊 為確保制程關(guān)鍵材料「氫氟酸」穩(wěn)定供應(yīng)并友善環(huán)境，臺積電宣布，已攜手供應(yīng)商以磷肥廢料替代螢石，在不影響原有制程品質(zhì)的前提下成功產(chǎn)制氫氟酸。

電子級氫氟酸主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造過程的清洗和刻蝕等工序，它的純度和潔凈度對集成電路的良品率、電性能及可靠性都有著十分重要的影響。依據(jù)金屬雜質(zhì)含量和液體中顆粒數(shù)目，電子級氫氟酸分為：EL、UP、UP-S、UP-SS、UP-SSS等級別5個(gè)級別，其中UP-SSS級別（相當(dāng)于SEMIG5質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，金屬雜質(zhì)要求≤10ppt）的氫氟酸純度最高，是12寸晶圓及更高規(guī)格的電子半導(dǎo)體產(chǎn)品制造環(huán)節(jié)必須用到的關(guān)鍵材料。

氫氟酸生產(chǎn)通常以螢石為原料，由于生產(chǎn)困難且精煉工藝復(fù)雜，要在生產(chǎn)過程中實(shí)現(xiàn)顯著的碳減排十分困難。據(jù)了解，為了促進(jìn)可持續(xù)發(fā)展，臺積電自2021年以來一直與供應(yīng)商合作，評估氫氟酸替代原材料的可行性。為使質(zhì)量符合半導(dǎo)體工藝標(biāo)準(zhǔn)，臺積電不僅在來料階段提前指導(dǎo)供應(yīng)商提供質(zhì)量保證證書(CoA)，更協(xié)助供應(yīng)商開發(fā)獨(dú)立的生產(chǎn)線進(jìn)行測試。經(jīng)過反復(fù)調(diào)整，臺積電對工藝進(jìn)行優(yōu)化，確保后續(xù)生產(chǎn)質(zhì)量處于良好狀態(tài)。

臺積電與供應(yīng)商合作，利用磷肥廢料生產(chǎn)氫氟酸

截至2023年2月，臺積電有兩家晶圓廠已應(yīng)用這種環(huán)保氫氟酸，既減少了螢石的使用量，二氧化碳排放量也成功減少了12噸，現(xiàn)其他臺積電晶圓廠現(xiàn)在也在試生產(chǎn)中。臺積電預(yù)計(jì)在所有晶圓廠引入這種環(huán)保氫氟酸后，可減少12萬噸以上的二氧化碳排放量，相當(dāng)于58個(gè)臺北大安森林公園一年的二氧化碳吸附能力。

參考來源：DIGITIMES科技網(wǎng)、多氟多等

(中國粉體網(wǎng)編輯整理/昧光)

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