中國(guó)粉體網(wǎng)訊 現(xiàn)在電子設(shè)備越來(lái)越小，性能卻越來(lái)越強(qiáng)，三維集成技術(shù)在這當(dāng)中起到了關(guān)鍵作用，推動(dòng)著整個(gè)行業(yè)不斷進(jìn)步。而玻璃通孔（TGV）技術(shù)作為三維集成里的重要部分，優(yōu)勢(shì)很明顯，在高頻信號(hào)傳輸方面表現(xiàn)出色，成本控制得比較好，而且結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、不容易壞，在先進(jìn)的封裝領(lǐng)域，TGV技術(shù)已成為研究熱門，也是未來(lái)的發(fā)展方向。
為了讓TGV能適應(yīng)不同的使用場(chǎng)景，它的制造工藝得滿足幾個(gè)關(guān)鍵條件。首先，精度必須高。通孔的大小、位置和形狀都要控制得非常準(zhǔn)確，這樣才能和芯片等其他零件完美對(duì)接。其次，高深寬比很重要，這也是衡量TGV制造工藝水平的一個(gè)重要標(biāo)準(zhǔn)。在一些高端的使用場(chǎng)景里，要求通孔的深寬比達(dá)到100:1甚至更高，這對(duì)加工工藝來(lái)說(shuō)是個(gè)很大的考驗(yàn)。另外，表面質(zhì)量得好。通孔里面和周圍的玻璃表面要光滑，不能有裂紋和雜質(zhì)，這樣才能保證信號(hào)傳輸穩(wěn)定、可靠。
在制造TGV的工藝?yán)铮x擇性激光刻蝕技術(shù)是個(gè)很實(shí)用的方法。簡(jiǎn)單說(shuō)，就是用特定的激光束瞄準(zhǔn)玻璃上需要打孔的地方，激光的能量會(huì)讓被照射的玻璃部分發(fā)生變化，變得更容易被后續(xù)的化學(xué)溶液腐蝕，之后，把玻璃放到腐蝕液里，被激光處理過(guò)的地方就會(huì)被快速腐蝕掉，形成通孔，而沒(méi)被激光照到的部分則基本不受影響。這樣一來(lái)，就能精準(zhǔn)控制通孔的位置、大小和形狀，很好地滿足TGV對(duì)精度的要求。
為強(qiáng)化行業(yè)信息交流，中國(guó)粉體網(wǎng)將于2025年7月30日在無(wú)錫舉辦2025玻璃基板與TGV技術(shù)大會(huì)。屆時(shí)，通快中國(guó)激光事業(yè)部商務(wù)拓展經(jīng)理蔣加恩將作題為《激光賦能玻璃基板新時(shí)代：TRUMPF高精度加工解決方案》的報(bào)告，分享基于選擇性激光刻蝕技術(shù)的玻璃基板加工解決方案。
專家簡(jiǎn)介：
蔣加恩，通快中國(guó)激光事業(yè)部商務(wù)拓展經(jīng)理。德國(guó)耶拿大學(xué)光子學(xué)碩士，專注于激光技術(shù)及特種玻璃領(lǐng)域，具備學(xué)術(shù)研究、⼯業(yè)研發(fā)與市場(chǎng)拓展的復(fù)合背景。碩⼠期間主攻⾼溫玻璃激光加⼯技術(shù)，后在德國(guó)肖特玻璃研究所參與歐盟可持續(xù)性材料重點(diǎn)項(xiàng)目�；貒�(guó)后主導(dǎo)鋰鋁硅微晶玻璃產(chǎn)業(yè)化研發(fā)，優(yōu)化產(chǎn)品性能并提升生產(chǎn)可持續(xù)性，后加入通快，負(fù)責(zé)消費(fèi)電⼦與半導(dǎo)體⾏業(yè)超短脈沖激光器市場(chǎng)開(kāi)發(fā)。
參考來(lái)源:
陳力.玻璃通孔技術(shù)研究進(jìn)展
(中國(guó)粉體網(wǎng)編輯整理/月明)
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