隨著科學(xué)技術(shù)的飛速發(fā)展，半導(dǎo)體材料的革新速度也進(jìn)一步加快。當(dāng)前，碳化硅作為第三代半導(dǎo)體材料的典型代表，在新能源汽車、光伏、儲(chǔ)能等新興領(lǐng)域正快速滲透，已成為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的前沿和制高點(diǎn)。同時(shí)，我國(guó)“十四五”規(guī)劃已將碳化硅半導(dǎo)體納入重點(diǎn)支持領(lǐng)域，碳化硅半導(dǎo)體將在我國(guó)5G基站建設(shè)、特高壓、城際高速鐵路和城市軌道交通、新能源汽車充電樁、大數(shù)據(jù)中心等新基建領(lǐng)域發(fā)揮重要作用。

近年來，我國(guó)在SiC材料領(lǐng)域取得了顯著進(jìn)展，但與國(guó)際先進(jìn)水平相比，在晶體生長(zhǎng)技術(shù)、晶圓加工技術(shù)等方面仍存在一定差距。SiC晶體生長(zhǎng)過程中面臨著晶體缺陷控制、生長(zhǎng)速率提升、晶體質(zhì)量穩(wěn)定性等難題；晶圓加工方面，則存在加工精度不足、良品率低、加工成本較高等挑戰(zhàn)。在當(dāng)前倡導(dǎo)節(jié)能減排的大趨勢(shì)下，快速穩(wěn)定地突破碳化硅單晶尺寸和質(zhì)量等關(guān)鍵問題，才能夠更好地占據(jù)未來碳化硅市場(chǎng)。

在此背景下，中國(guó)粉體網(wǎng)將于2025年8月21日在江蘇·蘇州舉辦第三代半導(dǎo)體SiC晶體生長(zhǎng)及晶圓加工技術(shù)研討會(huì)，大會(huì)將匯聚國(guó)內(nèi)行業(yè)專家、學(xué)者、技術(shù)人員、企業(yè)界代表圍繞晶體生長(zhǎng)工藝、關(guān)鍵原材料、生長(zhǎng)設(shè)備及應(yīng)用、碳化硅晶片切、磨、拋技術(shù)等方面展開演講交流。合肥昱馳真空技術(shù)有限公司作為參展單位邀請(qǐng)您共同出席。

合肥昱馳真空技術(shù)有限公司是一家致力于將國(guó)家科技部重大儀器儀表專項(xiàng) “超高真空大抽速磁懸浮復(fù)合分子泵“科技成果進(jìn)行轉(zhuǎn)化的高科技企業(yè)。 自主創(chuàng)新研制了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的超高真空大抽速磁懸浮復(fù)合分子泵，實(shí)現(xiàn)了磁懸浮超高真空分子泵產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)， 最終擺脫高端分子泵依賴國(guó)進(jìn)口的現(xiàn)狀， 解決了磁懸浮分子泵這一關(guān)鍵部件對(duì)我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的卡脖子問題。

公司目前擁有一支以教授級(jí)高工領(lǐng)頭的研發(fā)團(tuán)隊(duì)， 一支有高級(jí)技師帶頭的技術(shù)工人隊(duì)伍， 在研發(fā)、 產(chǎn)業(yè)化工程研究及實(shí)施方面都有豐富的經(jīng)驗(yàn)， 憑借在真空領(lǐng)域多年深入地耕耘，熟悉分子泵及真空裝備的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)動(dòng)向，有能力快速實(shí)現(xiàn)磁懸浮分子泵及真空裝備的產(chǎn)業(yè)化和市場(chǎng)開拓。目前已引入大唐電信、華潤(rùn)微、長(zhǎng)江證券、龍芯中科、國(guó)投創(chuàng)業(yè)、季華投資、飛圖創(chuàng)投等戰(zhàn)略投資。

公司的控股子公司北京四海祥云流體科技有限公司是研發(fā)生產(chǎn)高真空分子泵的專業(yè)廠家， 為雙高新企業(yè)(國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)和中關(guān)村高新技術(shù)企業(yè))。 在真空產(chǎn)品(包括傳統(tǒng)軸承的分子泵)的研發(fā)生產(chǎn)方面積累了雄厚的技術(shù)經(jīng)驗(yàn)，而且目前已實(shí)現(xiàn)了機(jī)械軸承式分子泵的量產(chǎn)和市場(chǎng)推廣。

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