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一、概述
SE-Vi是一款集成式原位光譜橢偏儀，針對有機/無機鍍 膜工藝研究的需要開發(fā)的原位薄膜在線監(jiān)測中的定制化 開發(fā)，快速實現(xiàn)光學(xué)薄膜原位表征分析。 |
二、測試案例
實時監(jiān)測成膜工藝
實時膜厚表征
三、產(chǎn)品應(yīng)用
■ 廣泛應(yīng)用于金屬薄膜、有機薄膜、無機薄膜的物理/化學(xué)氣相沉積，ALD沉積等光學(xué)薄膜工藝過程中實際原位在線監(jiān)測并實時反饋測量物性數(shù)據(jù)。
暫無數(shù)據(jù)！
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