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Film Sense FS-1™ 多波長橢偏儀采用壽命長 LED 光源和非移動 式部件橢偏探測器，可在操作簡單的緊湊型橢偏儀中實(shí)現(xiàn)快速和可 靠地薄膜測量。

大多數(shù)厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要簡單的 1 秒測量，就 可以獲得非常精密和準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)。還可以測量大多數(shù)樣品的光學(xué)常 數(shù)和其他薄膜特性。

FS-1 這款功能強(qiáng)大的多波長橢偏儀，售價(jià)只是單一波長橢偏儀

和光譜橢偏儀的中等水平。FS-1 可應(yīng)用于研究實(shí)驗(yàn)室，超凈間，原位工藝腔體以及工業(yè)質(zhì)量控制等諸多領(lǐng)域

主要特點(diǎn)

? 4 個(gè) LED 光源：藍(lán)色（465nm），綠色（525nm）， 黃色（580nm），紅色（635nm）

? 橢偏儀探測器中無可移動部件

? **的膜厚精密性，大多數(shù)樣品精密度優(yōu)于 0.001nm（1 秒獲取數(shù)據(jù)），對于亞單原子薄膜精密度等于0.001nm

? 集成計(jì)算機(jī)，可實(shí)現(xiàn)對設(shè)備控制和數(shù)據(jù)分析，自帶 瀏覽器界面，可兼容任何現(xiàn)代計(jì)算機(jī)，筆記本或平 板電腦

優(yōu)勢

? 壽命長（長達(dá) 50，000 小時(shí)），更換 LED 燈便宜，校準(zhǔn)時(shí) 間短或無需 PM 程序

? 快速測量（10ms 內(nèi)獲得多波長數(shù)據(jù)）和長期性能穩(wěn)定

? 測量精確，只有橢偏儀可以實(shí)現(xiàn)

? 軟件設(shè)置和維護(hù)簡單

標(biāo)準(zhǔn) FS-1 配置

? 65°入射角

? 手動放置樣品和調(diào)節(jié)高度

? 樣品尺寸**直徑 200mm 和厚度 23mm

? 樣品偏轉(zhuǎn)范圍+/-20

? 樣品上光束尺寸 5 x 12 mm

? 結(jié)構(gòu)緊湊(180 x 400 mm) 和輕巧(4.8 kg)

性能

FS-1 多波長橢偏儀擅長測量膜厚范圍 0-1000nm 的透明單一薄 膜的厚度和折射率。下表列出的是針對各種不同樣品，包括多 層膜樣品，F(xiàn)S-1 獲得的標(biāo)準(zhǔn)測量精密度和準(zhǔn)確性數(shù)據(jù)。