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創(chuàng)新型設計
**全面的清洗解決方案。Evactron CombiClean 清洗系統(tǒng)為透射樣品，樣品桿以及透射極靴等其他分析設備提供了桌面式清洗平臺，幫助客戶清洗樣品以及電鏡部件，去除其存在的碳污染問題。同時也提供了外置等離子發(fā)生器用于電鏡腔體清洗方案。系統(tǒng)操作簡單，檢測器可以智能控制多個等離子發(fā)生器單元，控制器自由切換可以通過不同發(fā)生器的工作模式。系統(tǒng)支持旋葉機械泵，從而防止油污染。提供干燥氮氣保護環(huán)境，保證經(jīng)等離子清洗過后的樣品可以長期保存，此時不影響其他等離子發(fā)生器的使用。
應用
Evactron CombiClean 系統(tǒng)可以提供外置式等離子發(fā)生器，用于掃描電鏡、透射電鏡和雙束電鏡，同時也可以清洗透射樣品桿以及氣塞。結合使用Evactron TEM Wand透射電鏡等離子清洗桿，可以清洗透射電鏡樣品、部件以及真空腔內部。
系統(tǒng)特性
系統(tǒng)通過內部的處理器，由MicroPirani 軟件對于真空度以及功率進行智能控制。處理器可以對等離子發(fā)生器進行定時清洗控制以及氮氣保護循環(huán)。系統(tǒng)保留操作日志。操作可以通過前置面板或者電腦完成。
可選TEM WAND原位透射極靴清潔樣品桿
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