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技術(shù)參數(shù)：

測量模式： STM/ AFM (接觸 + 輕敲+非接觸)/ 橫向力/ 相位/ 力調(diào)制/力譜/粘附力/ 磁力/靜電力/ 開爾文/ 擴(kuò)展電阻/納米壓痕/納米刻蝕: AFM (電壓刻蝕 + 力刻蝕)

掃描方式：樣品掃描

測量頭部：AFM和SPM（全內(nèi)置自動(dòng)切換），可選配液相模式和納米壓痕測量頭

**樣品尺寸：直徑20mm，厚度10mm

XY樣品定位裝置：移動(dòng)范圍5×5um，軟件控制電動(dòng)定位

XY樣品定位裝置*小步進(jìn)：0.3um

掃描范圍：100×100×10um（三維全量程閉環(huán)控制掃描器），3×3×2um（低電流模式掃描器）

XY方向非線性度：≤0.1%（閉環(huán)控制掃描器）

Z方向噪音水平（帶寬10~1000Hz時(shí)的RMS值）：閉環(huán)控制掃描器（典型值0.03nm，**0.04nm），低電流模式掃描器（0.02nm）

激光光路系統(tǒng)：電動(dòng)調(diào)節(jié)，全自動(dòng)準(zhǔn)直

視頻顯微系統(tǒng)：軟件控制電動(dòng)變焦和連續(xù)變倍，軟件控制變換視野，分辨率2um

樣品溫度控制：室溫~150℃

主要特點(diǎn)：

全自動(dòng)化桌面型SPM

直觀易用的軟件界面

全自動(dòng)切換AFM和STM掃描頭

自動(dòng)調(diào)整激光光路（懸臂—激光—四象限光電探測器）

軟件控制的電動(dòng)樣品定位平臺(tái)

視頻顯微鏡系統(tǒng)軟件控制電動(dòng)聚焦和變倍

視頻顯微鏡系統(tǒng)軟件控制定位樣品觀察視野

電動(dòng)開關(guān)樣品室門

切換不同的測量模式，軟件自動(dòng)調(diào)節(jié)**參數(shù)

人體工程學(xué)設(shè)計(jì)