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SEM納米探針臺
SEM納米探針臺

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型號

SEM納米探針臺

品牌

安徽澤攸

產(chǎn)地

安徽

樣本

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安徽澤攸科技有限公司

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    SEM納米探針臺產(chǎn)品實現(xiàn)了三維空間上的準確定位, 它具有分辨率高,尺寸緊湊,行程大,操作簡單,能在真空下使用等優(yōu)點,可應(yīng)于SEM真空腔體內(nèi)完成各種納米精度運動操作。

    SEM納米探針臺產(chǎn)品使用壓電陶瓷驅(qū)動,運無需潤滑,百分真空兼容,并可在很廣的溫度范圍內(nèi)工作。運動分辨率達到納米級。步進和掃描雙模式工作,在宏觀行程范圍內(nèi)達到亞納米分辨率的定位。

    三軸探針臺由三個單軸運動臺組合而成。一SEM腔體內(nèi)可安裝多個三軸探針臺。平上可安裝電學(xué)探針、光纖探針、納米鑷子、金剛石納米力壓頭、顯微注射器等各類操縱和測量頭,實現(xiàn)微納操縱和測量的目的。

    SEM納米探針臺參數(shù)信息.jpg

    ? 主要參數(shù)

    ▲ 兼容性:適配多種鎢燈絲、場發(fā)射SEM,保證電鏡安全性

    ▲ 探針驅(qū)動方式:PZT壓電陶瓷

    ▲ XYZ行程:XY軸行程≥±10mm,Z軸行程≥10mm

    ▲ 細調(diào)行程:3um

    ▲ 細調(diào)*小步長:≤1nm

    ▲ 控制模式:開環(huán)/閉環(huán)

    ▲ 探針數(shù)量:*多支持8探針

    ▲ 制冷系統(tǒng)(選配功能):熱臺200℃;冷臺-60℃(TEC);冷臺-170℃(液氮)

    主要配置

    壓電探針臺、壓電三軸位移控制器、PC+軟件(閉環(huán)選配)、壓電冷臺(選配)、手提箱、源表(選配)、制冷系統(tǒng)(選配)、定制適配電鏡法蘭、工具附件等

    • 結(jié)構(gòu)緊湊,高剛性

    • 壓電陶瓷位移平臺具有超長使用壽命

    • 內(nèi)部根據(jù)需求可增加位置反饋 

    • 應(yīng)用:納米材料操縱、納米器件電學(xué)光電等物性測量、生物細胞DNA操作等

    • 適配SEM:日本電子、 日立、FEI、 TESCAN等

    應(yīng)用案例

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    10分

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