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一、設(shè)備概述

石英管清洗設(shè)備是專(zhuān)為半導(dǎo)體、光伏、光學(xué)等領(lǐng)域設(shè)計(jì)的高精度清潔設(shè)備，用于去除石英管表面的顆粒、金屬污染、氧化物及有機(jī)物殘留。其核心目標(biāo)是通過(guò)化學(xué)腐蝕、物理沖洗和干燥工藝，恢復(fù)石英管的潔凈度和透光性，確保下游工藝（如擴(kuò)散、氧化、光刻）的穩(wěn)定性。設(shè)備通常兼容多種尺寸的石英管（如直徑20mm-100mm，長(zhǎng)度可達(dá)1.5米），并滿(mǎn)足Class 10級(jí)潔凈度要求。

二、核心技術(shù)與功能

清洗技術(shù)

酸腐蝕清洗：使用混酸（如HF/HNO?/HCl）或?qū)Ｓ檬⒏g液，通過(guò)旋轉(zhuǎn)浸泡或噴淋方式去除表面雜質(zhì)。

超聲波輔助清洗：高頻超聲波空化效應(yīng)分解微小顆粒和頑固污染物。

高壓噴淋沖洗：去除化學(xué)腐蝕后的殘留液和剝離的污染物。

干燥技術(shù)

熱風(fēng)循環(huán)干燥：通過(guò)潔凈熱風(fēng)快速蒸發(fā)水分，避免水漬殘留。

惰性氣體保護(hù)干燥（如N?或CDA）：防止二次污染，適用于高潔凈度場(chǎng)景。

真空干燥：低溫抽真空干燥，保護(hù)石英管材質(zhì)性能。

自動(dòng)化控制

PLC程序控制：預(yù)設(shè)清洗時(shí)間、溫度、轉(zhuǎn)速等參數(shù)，支持多段工藝配方存儲(chǔ)。

觸摸屏操作界面：實(shí)時(shí)監(jiān)控清洗狀態(tài)，故障自動(dòng)報(bào)警（如漏液、過(guò)載）。

數(shù)據(jù)追溯系統(tǒng)：記錄清洗參數(shù)（如酸液濃度、溫度曲線(xiàn)），符合ISO標(biāo)準(zhǔn)。

三、設(shè)備結(jié)構(gòu)與設(shè)計(jì)特點(diǎn)

槽體與材質(zhì)

耐腐蝕材料：清洗槽采用PFA、PTFE或聚四氟乙烯涂層，抗氫氟酸腐蝕。

雙層防漏設(shè)計(jì)：槽體底部配備防漏盤(pán)和傾斜式防漏層，泄漏時(shí)自動(dòng)報(bào)警并引流至廢液回收系統(tǒng)。

核心組件

旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)：石英管在槽內(nèi)低速旋轉(zhuǎn)（如5-10rpm），確保均勻腐蝕和清洗。

氮?dú)夤呐菹到y(tǒng)：槽底注入氮?dú)?，減少泡沫產(chǎn)生并促進(jìn)酸液滲透。

循環(huán)過(guò)濾系統(tǒng)：酸液和漂洗水通過(guò)過(guò)濾裝置循環(huán)使用，降低耗材成本。

安全與環(huán)保

廢氣處理模塊：集成酸堿中和塔或活性炭吸附裝置，處理?yè)]發(fā)性氣體。

廢液回收系統(tǒng)：分類(lèi)收集酸液、漂洗水，符合環(huán)保排放標(biāo)準(zhǔn)。

防護(hù)等級(jí)：電氣部件防爆設(shè)計(jì)，適應(yīng)腐蝕性環(huán)境。

四、工藝流程示例

上料：人工或機(jī)械臂將石英管放入清洗槽。

酸洗：注入混酸，啟動(dòng)旋轉(zhuǎn)和氮?dú)夤呐?，腐蝕表面雜質(zhì)。

漂洗：排空酸液后注入去離子水，循環(huán)沖洗殘留化學(xué)品。

干燥：熱風(fēng)或惰性氣體干燥，確保無(wú)水漬殘留。

下料：潔凈石英管輸出至潔凈存儲(chǔ)柜或直接進(jìn)入下游工藝。

石英管清洗設(shè)備是精密制造中的關(guān)鍵工具，其高效腐蝕、精確控制和安全防護(hù)能力直接影響產(chǎn)品良率。未來(lái)，隨著半導(dǎo)體制程升級(jí)和環(huán)保要求提高，設(shè)備將向智能化、模塊化和綠色化方向發(fā)展，助力高端制造實(shí)現(xiàn)更高標(biāo)準(zhǔn)的潔凈度控制。