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一、設(shè)備概述

石英舟清洗機(jī)是為半導(dǎo)體、光伏、光纖通信等行業(yè)設(shè)計(jì)的專用清洗設(shè)備，主要用于去除石英舟在高溫工藝（如CVD、擴(kuò)散、氧化）中積累的雜質(zhì)、顆粒、金屬殘留及有機(jī)物污染。該設(shè)備通過高效清洗和干燥技術(shù)，確保石英舟的表面潔凈度達(dá)到納米級(jí)工藝要求，避免交叉污染，延長(zhǎng)石英舟使用壽命，同時(shí)保障下游工藝的穩(wěn)定性和良品率。

二、核心功能與技術(shù)特點(diǎn)

精準(zhǔn)清洗工藝

多槽式清洗系統(tǒng)：采用酸洗、堿洗、水洗、超純水沖洗等多槽分段設(shè)計(jì)，可針對(duì)不同污染物（如金屬氧化物、有機(jī)膜、微粒）選擇**清洗方案。

噴淋與超聲波結(jié)合：通過高壓噴淋實(shí)現(xiàn)表面均勻沖刷，配合超聲波空化效應(yīng)清除頑固附著物，清洗效率提升30%以上。

溫度與濃度可控：清洗液溫度、酸堿濃度實(shí)時(shí)監(jiān)控并自動(dòng)調(diào)節(jié)，避免因參數(shù)波動(dòng)導(dǎo)致石英舟腐蝕或清洗不徹底。

高效干燥技術(shù)

熱風(fēng)循環(huán)干燥：內(nèi)置恒溫?zé)犸L(fēng)系統(tǒng)，快速烘干殘留水漬，防止水痕污染。

無塵環(huán)境設(shè)計(jì)：干燥腔體配備HEPA過濾器，杜絕外部顆粒污染，確保石英舟表面潔凈度達(dá)到Class 10標(biāo)準(zhǔn)。

智能化控制系統(tǒng)

人機(jī)交互界面：7英寸觸摸屏預(yù)設(shè)多種清洗程序（如標(biāo)準(zhǔn)清洗、重金屬去除、有機(jī)物剝離），支持自定義參數(shù)保存。

數(shù)據(jù)追溯功能：記錄每次清洗的時(shí)間、溫度、液位等數(shù)據(jù)，便于工藝優(yōu)化和質(zhì)量管控。

故障自檢與報(bào)警：實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)液位不足、溫度異常、泵體堵塞等問題，并通過聲光警報(bào)提示操作人員。

三、設(shè)備優(yōu)勢(shì)

兼容性強(qiáng)：適用于各種規(guī)格石英舟（如船型、槽型），可定制夾具適配不同尺寸。

安全環(huán)保：酸堿槽體采用PP/PVDF材質(zhì)，耐化學(xué)腐蝕；廢液回收系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)封閉式排放，減少危廢處理成本。

低耗節(jié)能：水循環(huán)系統(tǒng)重復(fù)利用清洗液，熱風(fēng)干燥采用熱泵技術(shù)，較傳統(tǒng)烘箱節(jié)能40%。

長(zhǎng)壽命設(shè)計(jì)：核心部件（如超聲波振子、泵體）選用耐腐蝕材料，設(shè)備無故障運(yùn)行時(shí)間≥2000小時(shí)。

四、應(yīng)用場(chǎng)景

半導(dǎo)體領(lǐng)域：清洗擴(kuò)散爐、CVD設(shè)備中使用的石英舟，去除硅片殘留的磷、硼液及工藝薄膜。

光伏行業(yè)：清理多晶硅長(zhǎng)晶爐石英舟表面的石墨殘留和揮發(fā)物，提升電池片光電轉(zhuǎn)換效率。

科研實(shí)驗(yàn)：用于高校、研究所的高溫實(shí)驗(yàn)設(shè)備石英部件清洗，滿足高精度分析需求。