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推薦上海微系統(tǒng)所在300 mm SOI晶圓制造技術(shù)方面實現(xiàn)突破

中國粉體網(wǎng)訊近日，上海微系統(tǒng)所魏星研究員團隊在300 mm SOI晶圓制造技術(shù)方面取得突破性進展，制備出了國內(nèi)第一片300 mm 射頻（RF）SOI晶圓。團隊基于集成電路材料全國重點實驗室300 mm SOI研發(fā)平臺，依次解[更多]

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