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四方光電(武漢)儀器有限公司
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產(chǎn)品詳情
紅外氣體傳感器 Gasboard-2060
紅外氣體傳感器 Gasboard-2060的圖片
參考報價:
面議
品牌:
四方儀器
關(guān)注度:
2145
樣本:
暫無
型號:
Gasboard-2060
產(chǎn)地:
湖北武漢
信息完整度:
典型用戶:
暫無
索取資料及報價
認證信息
 
名 稱:四方光電(武漢)儀器有限公司
認 證:工商信息已核實
訪問量:317486
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產(chǎn)品簡介

紅外氣體傳感器.jpg

產(chǎn)品名稱:紅外氣體傳感器

產(chǎn)品型號:Gasboard-2060


紅外氣體傳感器產(chǎn)品概述

紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器,產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機臺內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議,可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。


紅外氣體傳感器產(chǎn)品特性

  • 使用NDIR技術(shù),多氣體監(jiān)測支持(SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)

  • 響應(yīng)時間快,高靈敏度

  • 無耗材

  • 模擬/數(shù)字通信

  • 模塊化設(shè)計,便于集成


紅外氣體傳感器技術(shù)參數(shù)

檢測原理NDIR
檢測氣體SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2
量程1~264ppm(0~200mTorr)
重復(fù)性±0.5%
線性±1%F.S.
檢測限1ppm


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