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四方光電(武漢)儀器有限公司
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產(chǎn)品詳情
紅外氣體傳感器 Gasboard-2060
紅外氣體傳感器 Gasboard-2060的圖片
參考報(bào)價(jià):
面議
品牌:
四方儀器
關(guān)注度:
2150
樣本:
暫無(wú)
型號(hào):
Gasboard-2060
產(chǎn)地:
湖北武漢
信息完整度:
典型用戶:
暫無(wú)
索取資料及報(bào)價(jià)
認(rèn)證信息
 
名 稱:四方光電(武漢)儀器有限公司
認(rèn) 證:工商信息已核實(shí)
訪問(wèn)量:317657
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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

紅外氣體傳感器.jpg

產(chǎn)品名稱:紅外氣體傳感器

產(chǎn)品型號(hào):Gasboard-2060


紅外氣體傳感器產(chǎn)品概述

紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器,產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測(cè)量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機(jī)臺(tái)內(nèi)常見(jiàn)預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議,可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點(diǎn)檢測(cè)、腔室清理終端檢測(cè),能夠減少清潔時(shí)間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。


紅外氣體傳感器產(chǎn)品特性

  • 使用NDIR技術(shù),多氣體監(jiān)測(cè)支持(SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)

  • 響應(yīng)時(shí)間快,高靈敏度

  • 無(wú)耗材

  • 模擬/數(shù)字通信

  • 模塊化設(shè)計(jì),便于集成


紅外氣體傳感器技術(shù)參數(shù)

檢測(cè)原理NDIR
檢測(cè)氣體SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2
量程1~264ppm(0~200mTorr)
重復(fù)性±0.5%
線性±1%F.S.
檢測(cè)限1ppm


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