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產(chǎn)品分類
公眾號(hào)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介
產(chǎn)品名稱:紅外氣體傳感器
產(chǎn)品型號(hào):Gasboard-2060
紅外氣體傳感器產(chǎn)品概述
紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器,產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測(cè)量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機(jī)臺(tái)內(nèi)常見(jiàn)預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議,可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點(diǎn)檢測(cè)、腔室清理終端檢測(cè),能夠減少清潔時(shí)間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。
紅外氣體傳感器產(chǎn)品特性
使用NDIR技術(shù),多氣體監(jiān)測(cè)支持(SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)
響應(yīng)時(shí)間快,高靈敏度
無(wú)耗材
模擬/數(shù)字通信
模塊化設(shè)計(jì),便于集成
紅外氣體傳感器技術(shù)參數(shù)
檢測(cè)原理 | NDIR |
檢測(cè)氣體 | SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2 |
量程 | 1~264ppm(0~200mTorr) |
重復(fù)性 | ±0.5% |
線性 | ±1%F.S. |
檢測(cè)限 | 1ppm |
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