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產品簡介
產品名稱：氧分析儀
產品型號：Gasboard-3053
產品概述
氧分析儀Gasboard-3053搭載高穩(wěn)定性的氧化鋯核心傳感器，覆蓋25%富氧至1ppm微量氧的全范圍測量。具有測量精度高、響應時間快、穩(wěn)定性好等特點，可應用于半導體制造、空氣分離、惰性氣體焊接等領域，為關鍵的過程控制應用程序提供可靠的性能。產品采用緊湊型模塊化設計，體積小巧，便于在復雜?況下安裝，同時配備直觀豐富的用戶界面，提供人機交互體驗。
產品特性
測量精度?，ppm級別測量
響應速度快，秒級出數(shù)
即插即??體化設計
內置采樣泵與過濾系統(tǒng)，安裝維護便捷
本地化端到端服務保障
應用領域
半導體、LED等?產過程中氧濃度控制、惰性保護?體?產及焊接?藝中氧濃度監(jiān)測、空?分離加??藝中氧濃度測定、真空?套箱系統(tǒng)中氧含量的監(jiān)控
技術參數(shù)
| 微量-常量氧分析儀 | ||
| 功能性能需求 | 檢測氣體 | O2 |
| 量程范圍 | 0~10~100~1000ppm，0~25%，自動切換 | |
| 檢出限 | 0.5ppm | |
| 分辨率 | 0.1ppm | |
| 準確度/示值誤差/精度 （ppm=氧分壓/當前?作總壓） | ≤±2%F.S. 或 ±0.5ppm 以較大值為準 | |
| 響應時間 | T90≤10s | |
| 預熱時間 | ≤20min | |
| 零點漂移 | ±0.5%F.S. | |
| 量程漂移 | ±0.5%F.S. | |
| 重復性 | ±0.5%F.S. | |
| 電氣結構 | 通訊協(xié)議 | RS-232，RS-485 |
| 氣路接口 | 進氣/出氣 1/4''VCR-F | |
| 結構形式 | 一體式 | |
| 結構尺寸（L*W*D） | 210*134*300mm | |
| 環(huán)境要求 | 傳感器（RSM）工作溫濕度 | 溫度：0~50℃；濕度：0~95%RH，非冷凝 |
| 采樣流量 | 0.5~1L/min傳感器內設控流組件 | |
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