參考價(jià)格
面議型號(hào)
DSP EFEM設(shè)備品牌
日揚(yáng)弘創(chuàng)產(chǎn)地
北京樣本
暫無(wú)看了DSP EFEM設(shè)備的用戶又看了
留言詢價(jià)
虛擬號(hào)將在 180 秒后失效
使用微信掃碼撥號(hào)
外形尺寸:3830mm(W)x1990mm(L)x2770mm(H)
重復(fù)定位精度:±0.05mm
上料效率節(jié)拍:≤7s
下料效率節(jié)拍:≤7s
適用范圍:12 寸半導(dǎo)體硅片
設(shè)備針對(duì)12寸半導(dǎo)體硅片的拋光(Polishing)工序，是DSP工具的前端模塊EFEM)設(shè)備，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)上下料、檢查等功能。整個(gè)設(shè)備融合了晶圓裝載口、專用潔凈型機(jī)器人、視覺(jué)定位系統(tǒng)、梨痕檢測(cè)系統(tǒng)、自動(dòng)讀碼功能、自動(dòng)控制信息管理系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)高精度自動(dòng)取、放、翻轉(zhuǎn)等功能。設(shè)備通過(guò)陶瓷叉臂、橡膠吸盤(pán)及碳纖維抓手多種組合方式來(lái)實(shí)現(xiàn)裂紋檢測(cè)、自動(dòng)上料及自動(dòng)下料多種工況下的晶圓精準(zhǔn)取放。
暫無(wú)數(shù)據(jù)！
DSP EFEM設(shè)備的工作原理介紹？DSP EFEM設(shè)備的使用方法？DSP EFEM設(shè)備多少錢(qián)一臺(tái)？DSP EFEM設(shè)備使用的注意事項(xiàng)DSP EFEM設(shè)備的說(shuō)明書(shū)有嗎？DSP EFEM設(shè)備的操作規(guī)程有嗎？DSP EFEM設(shè)備的報(bào)價(jià)含票含運(yùn)費(fèi)嗎？DSP EFEM設(shè)備有現(xiàn)貨嗎？DSP EFEM設(shè)備包安裝嗎？
手機(jī)版：
工商已核實(shí)
