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陣列式微波源等離子模塊ALAMPS品牌
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技術(shù)參數(shù)
項(xiàng)目 | 固態(tài)源版本 | 磁控管版本 |
長(zhǎng)*寬*高 | 626mm*552mm*380mm | 605mm*595mm*632mm |
輸出功率 | 1.0kW×2 | 1.25kW×2 |
輸出頻率 | 2450MHz±25MHz | 2450MHz±25MHz |
頻率誤差 | ±50ppm | ±50ppm |
微波泄露 | ≤2mW/cm2 | ≤2mW/cm2 |
供電電壓 | AC220V±10% | AC220V±10% |
供電頻率 | 50Hz±2Hz | 50Hz±2Hz |
進(jìn)/出水口 | 1/8寶塔接頭 | DN15 |
冷卻方式 | 水冷（1/8寶塔接頭，水流量≥2.5L/mi0) | 水冷（1/8寶塔接頭，水流量≥2.5L/min) |
控制接口 | RS485通信協(xié)議 | 遠(yuǎn)程通訊功能 |
工藝氣體 | Ar、O2、H2、CF4等 | Ar、O2、H2、CF4等 |
等離子處理面積 | 0.19m2 | 0.15m2 |
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