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陣列式微波源等離子模塊ALAMPS
陣列式微波源等離子模塊ALAMPS

參考價格

面議

型號

陣列式微波源等離子模塊ALAMPS

品牌

奮羽電子

產地

四川

樣本

暫無
成都奮羽電子科技有限公司

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生產商

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技術參數

項目

固態(tài)源版本

磁控管版本

長*寬*高

626mm*552mm*380mm

605mm*595mm*632mm

輸出功率

1.0kW×2

1.25kW×2

輸出頻率

2450MHz±25MHz

2450MHz±25MHz

頻率誤差

±50ppm

±50ppm

微波泄露

≤2mW/cm2

≤2mW/cm2

供電電壓

AC220V±10%

AC220V±10%

供電頻率

50Hz±2Hz

50Hz±2Hz

進/出水口

1/8寶塔接頭

DN15

冷卻方式

水冷(1/8寶塔接頭,水流量≥2.5L/mi0)

水冷(1/8寶塔接頭,水流量≥2.5L/min)

控制接口

RS485通信協(xié)議

遠程通訊功能

工藝氣體

Ar、O2、H2、CF4等

Ar、O2、H2、CF4等

等離子處理面積

0.19m2

0.15m2


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售后服務

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