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主要用于半導體行業(yè)，輸送各類液態(tài)前驅體生產材料至生產機臺；具有安全，可靠，不間斷供液，可對測漏，循環(huán)吹掃等子程序進行參數設置等特點；液體前驅體輸送系統(tǒng)作為完全國產化的設備，具有完全自主的知識產權，穩(wěn)定生產和強大的技術團隊跟進售后服務的優(yōu)勢。
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