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Profilm 3D是一款兼具垂直掃描干涉 (VSI)和高精確度相移干涉 (PSI) 技術的經濟型光學輪廓儀，其可以用于多種用途的高精度表面測量。

Profilm 3D光學輪廓儀具有以下優(yōu)點：

?   價格優(yōu)勢：市場上具性價比的白光干涉輪廓儀，具有價格優(yōu)勢的高精度輪廓儀。

?   快速測量大面積區(qū)域：測量范圍為毫米級別，配置XY樣品臺達100mm*100mm，可實現(xiàn)大面積樣品的輕松測量；

?   簡單易用：只需將樣品放置于樣品臺上，即可直接進行測量；

?   可以測量非接觸式非平坦樣品：由于光學輪廓測量法是一種非接觸式技術，可以輕松測量彎曲和其他非平面表面。還輕松地測量曲面的表面光潔度，紋理和粗糙度。除此之外，作為一種非接觸式方法光學輪廓儀不會像探針式輪廓儀那樣損壞柔軟的薄膜。

?   無需更換耗材：只需要一個LED光源，無需其他配件更換；

?   可視化3D功能：Profilm 3D輪廓儀具有強大的處理軟件，軟件除包括表面粗糙度，形狀和臺階高度的測量外，還可以任意角度移動樣品量測三維圖形，多角度分析樣品圖像。

適用于各類樣品：Profilm 3D輪廓儀適用于各類金屬、非晶硅和多晶硅、陶瓷材料、電介質、硬質涂層、高分子聚合物、光刻膠等的表面輪廓及粗糙度等測量。

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Profilm 3D光學輪廓儀功能：

?   用于測量粗糙度

使用Profilm 3D輪廓儀可以以秒為單位測量表面紋理，光潔度和粗糙度，只需單擊鼠標即可完成。Profilm3D采用白光干涉測量（WLI）和相移干涉測量（PSI）等行業(yè)標準技術，可快速測量大面積2D區(qū)域的粗糙度和紋理，無需接觸樣品。

?   測量曲面樣品

由于Profilm 3D是一種非接觸式技術，因此可以輕松測量彎曲和其他非平面表面。另外在測量方法中添加形狀去除（也稱為形狀去除）和過濾，即可輕松實現(xiàn)表面光潔度，紋理和粗糙度的測量！

?   多種粗糙度參數標準

Profilm 3D擁有47個ASME / EUR / ISO粗糙度參數標準?？梢栽诮Y果中顯示其中的多種一個或全部，從而使自定義報告變得輕而易舉。符合ISO 9000和ASME B46.1標準，ISO現(xiàn)在完全支持測量表面粗糙度的光學方法。特別是，ISO 25178第604部分描述了Profilm3D的WLI方法（其中也稱為相干掃描干涉測量法）。

二、主要功能

   主要應用

臺階高度

表面粗糙度

線寬及輪廓

   技術能力

厚度范圍，VSI  50nm-100mm

厚度范圍，PSI  0-3 μm

樣品反射率范圍 0.05%-100%

Piezo范圍 500 μm

XY平臺范圍100mm x 100mm

三、應用

臺階高度、表面形貌、表面粗糙度、大面積拼接等