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Sharpla600 系列缺陷檢測設(shè)備品牌
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Sharpla 600 是專門為檢測 SiC （碳化硅） 缺陷而設(shè)計的一款國產(chǎn)自研檢測設(shè)備。針對 SiC 襯底和 SiC 外延片各種缺陷檢測。Sharpla 600 采用明場、暗場和光致發(fā)光相結(jié)合的先進光學(xué)技術(shù)，能夠快速、準確地檢測出各類缺陷。算法采用經(jīng)典算法與人工智能算法相結(jié)合的方式，使其在數(shù)據(jù)處理和分析方面更加快速、精確。
結(jié)合 DIC、DF 以及 PL 三種光學(xué)模式進行檢測，實現(xiàn)全面檢測和測量，提高檢測效率和準確性。
檢測精度：0.3μm
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